Granítíhlutir hafa verið mikið notaðir í hálfleiðara framleiðsluferlinu vegna framúrskarandi eiginleika þeirra eins og yfirburðar yfirborðsáferðar, mikillar stífni og framúrskarandi titringsdeyfingar.Granítíhlutir eru nauðsynlegir fyrir hálfleiðaraframleiðslubúnað, þar með talið steinþrykkjavélar, fægivélar og mælifræðikerfi þar sem þeir veita nákvæma staðsetningu og stöðugleika meðan á framleiðsluferlinu stendur.Þrátt fyrir alla kosti þess að nota graníthluta hafa þeir einnig galla.Í þessari grein munum við ræða galla granítíhluta fyrir framleiðslu á hálfleiðara.
Í fyrsta lagi hafa graníthlutar háan varmaþenslustuðul.Það þýðir að þeir stækka verulega undir hitauppstreymi, sem gæti valdið vandamálum meðan á framleiðsluferlinu stendur.Framleiðsluferlið hálfleiðara krefst mikillar nákvæmni og víddarnákvæmni sem gæti verið í hættu vegna hitaálags.Til dæmis gæti aflögun kísilflísar vegna varmaþenslu valdið jöfnunarvandamálum við steinþrykk, sem gæti dregið úr gæðum hálfleiðarabúnaðarins.
Í öðru lagi hafa graníthlutar galla í gljúpum sem gætu valdið tómarúmsleka í hálfleiðara framleiðsluferlinu.Tilvist lofts eða annarra gastegunda í kerfinu gæti valdið mengun á yfirborði skífunnar, sem leiðir til galla sem gætu haft áhrif á frammistöðu hálfleiðarabúnaðarins.Óvirkar lofttegundir eins og argon og helíum gætu seytlað inn í gljúpa graníthluta og myndað gasbólur sem gætu truflað heilleika lofttæmisferlisins.
Í þriðja lagi hafa graníthlutar örbrot sem gætu truflað nákvæmni framleiðsluferlisins.Granít er brothætt efni sem gæti myndað örbrot með tímanum, sérstaklega þegar það verður fyrir stöðugum streitulotum.Tilvist örbrota gæti leitt til óstöðugleika í víddum, sem veldur verulegum vandamálum meðan á framleiðsluferlinu stendur, eins og lithography jöfnun eða wafer fægja.
Í fjórða lagi hafa graníthlutar takmarkaðan sveigjanleika.Framleiðsluferlið hálfleiðara krefst sveigjanlegs búnaðar sem gæti tekið við mismunandi ferlibreytingum.Hins vegar eru graníthlutar stífir og geta ekki lagað sig að mismunandi ferlibreytingum.Þess vegna þurfa allar breytingar á framleiðsluferlinu að fjarlægja eða skipta um granítíhluti, sem leiðir til niður í miðbæ og hefur áhrif á framleiðni.
Í fimmta lagi þurfa granítíhlutir sérstaka meðhöndlun og flutninga vegna þyngdar þeirra og viðkvæmni.Granít er þétt og þungt efni sem krefst sérhæfðs meðhöndlunarbúnaðar eins og krana og lyftara.Að auki þurfa granítíhlutir vandlega pökkun og flutninga til að koma í veg fyrir skemmdir meðan á sendingu stendur, sem leiðir til viðbótarkostnaðar og tíma.
Að lokum hafa granítíhlutir nokkra galla sem gætu haft áhrif á gæði og framleiðni í framleiðsluferli hálfleiðara.Þessa galla væri hægt að lágmarka með varkárri meðhöndlun og viðhaldi graníthluta, þar með talið reglubundinni skoðun með tilliti til smábrota og gljúpagalla, rétta hreinsun til að koma í veg fyrir mengun og varkár meðhöndlun meðan á flutningi stendur.Þrátt fyrir gallana eru granítíhlutir enn mikilvægur hluti af hálfleiðara framleiðsluferlinu vegna yfirburðar yfirborðsáferðar, mikillar stífni og framúrskarandi titringsdeyfingar.
Pósttími: Des-05-2023