Granítíhlutir hafa verið mikið notaðir í framleiðsluferli hálfleiðara vegna framúrskarandi einkenna þeirra eins og yfirburða yfirborðsáferð, mikil stífni og framúrskarandi titringsdemping. Granítíhlutir eru nauðsynlegir fyrir búnað til hálfleiðara, þar með talið litografsvélar, fægivélar og mælikerfi þar sem þau veita nákvæmni staðsetningu og stöðugleika meðan á framleiðsluferlinu stendur. Þrátt fyrir alla kosti þess að nota granítíhluti hafa þeir einnig galla. Í þessari grein munum við ræða galla á granítíhlutum fyrir framleiðslu á hálfleiðara.
Í fyrsta lagi hafa granítíhlutir háan hitauppstreymistuðul. Það þýðir að þeir stækka verulega undir hitauppstreymi, sem gæti valdið málum meðan á framleiðsluferlinu stendur. Framleiðsluferlið hálfleiðara krefst mikillar nákvæmni og víddar nákvæmni sem hægt væri að skerða vegna hitauppstreymis. Sem dæmi má nefna að aflögun kísilþurrkunar vegna hitauppstreymis gæti valdið málamáli við lithography, sem gæti haft áhrif á gæði hálfleiðara tækisins.
Í öðru lagi eru granítíhlutir með porosity galla sem gætu valdið tómarúmleka í framleiðsluferli hálfleiðara. Tilvist lofts eða annars gas í kerfinu gæti valdið mengun á yfirborði skífunnar, sem leiðir til galla sem gætu haft áhrif á afköst hálfleiðara tækisins. Óvirk lofttegundir eins og Argon og Helium gætu sogað í porous granítíhluta og búið til gasbólur sem gætu truflað heiðarleika tómarúmsins.
Í þriðja lagi eru granítíhlutir með örbrot sem gætu truflað nákvæmni framleiðsluferlisins. Granít er brothætt efni sem gæti þróað örbrot með tímanum, sérstaklega þegar það verður fyrir stöðugum streituhringjum. Tilvist örbrota gæti leitt til víddar óstöðugleika og valdið verulegum vandamálum meðan á framleiðsluferlinu stóð, svo sem röðun litografíu eða fjólufægja.
Í fjórða lagi hafa granítíhlutir takmarkaðan sveigjanleika. Framleiðsluferlið hálfleiðara krefst sveigjanlegs búnaðar sem gæti komið til móts við mismunandi breytingar á ferlinu. Hins vegar eru granítíhlutir stífir og geta ekki aðlagast mismunandi aðferðum. Þess vegna þurfa allar breytingar á framleiðsluferlinu að fjarlægja eða skipta um granítíhlutina, sem leiðir til niður í miðbæ og hafa áhrif á framleiðni.
Í fimmta lagi þurfa granítíhlutir sérstaka meðhöndlun og flutninga vegna þyngdar þeirra og viðkvæmni. Granít er þétt og þungt efni sem krefst sérhæfðs meðhöndlunarbúnaðar eins og krana og lyftara. Að auki þurfa granítíhlutir vandlega pökkun og flutninga til að koma í veg fyrir skemmdir meðan á sendingu stendur, sem leiðir til viðbótarkostnaðar og tíma.
Að lokum, granítíhlutir hafa nokkra galla sem geta haft áhrif á gæði og framleiðni hálfleiðara. Hægt væri að lágmarka þessa galla með vandlegri meðhöndlun og viðhaldi granítíhluta, þar með talið reglubundna skoðun á örbrotum og porosity göllum, réttri hreinsun til að koma í veg fyrir mengun og vandlega meðhöndlun við flutning. Þrátt fyrir galla eru granítíhlutir áfram mikilvægur hluti af hálfleiðara framleiðsluferlinu vegna yfirburða yfirborðsáferðar, mikillar stífni og framúrskarandi titringsdempunar.
Post Time: Des-05-2023