Graníthlutir hafa verið mikið notaðir í framleiðsluferli hálfleiðara vegna framúrskarandi eiginleika þeirra eins og framúrskarandi yfirborðsáferðar, mikils stífleika og framúrskarandi titringsdempunar. Graníthlutir eru nauðsynlegir fyrir búnað til framleiðslu á hálfleiðurum, þar á meðal steinritunarvélar, fægingarvélar og mælikerfi, þar sem þeir veita nákvæma staðsetningu og stöðugleika í framleiðsluferlinu. Þrátt fyrir alla kosti þess að nota graníthluti hafa þeir einnig galla. Í þessari grein munum við ræða galla graníthluta fyrir framleiðsluferli hálfleiðara.
Í fyrsta lagi hafa graníthlutar háan hitaþenslustuðul. Það þýðir að þeir þenjast verulega út við hitastreymi, sem getur valdið vandamálum við framleiðsluferlið. Framleiðsluferlið fyrir hálfleiðara krefst mikillar nákvæmni og víddarnákvæmni sem gæti skerst vegna hitastreymis. Til dæmis gæti aflögun kísillþynningar vegna hitaþenslu valdið vandamálum með röðun við steinþynningu, sem gæti haft áhrif á gæði hálfleiðarabúnaðarins.
Í öðru lagi hafa graníthlutar galla í gegndræpi sem gætu valdið leka í lofttæmi í framleiðsluferli hálfleiðara. Loft eða önnur lofttegund í kerfinu gæti valdið mengun á yfirborði skífunnar, sem gæti haft áhrif á afköst hálfleiðarans. Óvirk lofttegundir eins og argon og helíum gætu lekið inn í gegndræpa graníthluta og myndað loftbólur sem gætu truflað heilleika lofttæmisferlisins.
Í þriðja lagi eru örsprungur í graníthlutum sem geta haft áhrif á nákvæmni framleiðsluferlisins. Granít er brothætt efni sem getur myndað örsprungur með tímanum, sérstaklega þegar það verður fyrir stöðugum álagi. Örsprungur geta leitt til óstöðugleika í vídd og valdið verulegum vandamálum í framleiðsluferlinu, svo sem við röðun litografíu eða slípun á skífum.
Í fjórða lagi hafa graníthlutar takmarkaðan sveigjanleika. Framleiðsluferli hálfleiðara krefst sveigjanlegs búnaðar sem getur tekið við mismunandi ferlum. Hins vegar eru graníthlutar stífir og geta ekki aðlagað sig að mismunandi ferlum. Þess vegna krefjast allar breytingar á framleiðsluferlinu þess að graníthlutar séu fjarlægðir eða skiptar út, sem leiðir til niðurtíma og hefur áhrif á framleiðni.
Í fimmta lagi þurfa graníthlutar sérstaka meðhöndlun og flutning vegna þyngdar sinnar og viðkvæmni. Granít er þétt og þungt efni sem krefst sérhæfðs meðhöndlunarbúnaðar eins og krana og lyftara. Að auki þurfa graníthlutar vandlega pökkun og flutning til að koma í veg fyrir skemmdir við flutning, sem leiðir til aukakostnaðar og tíma.
Að lokum má segja að graníthlutir hafi nokkra galla sem gætu haft áhrif á gæði og framleiðni framleiðsluferlis hálfleiðara. Hægt væri að lágmarka þessa galla með vandlegri meðhöndlun og viðhaldi á graníthlutum, þar á meðal reglulegri skoðun á örsprungum og gegndræpum göllum, viðeigandi þrifum til að koma í veg fyrir mengun og vandlegri meðhöndlun meðan á flutningi stendur. Þrátt fyrir gallana eru graníthlutir enn mikilvægur hluti af framleiðsluferlinu á hálfleiðurum vegna framúrskarandi yfirborðsáferðar, mikils stífleika og framúrskarandi titringsdeyfingar.
Birtingartími: 5. des. 2023