Loftlagningarkerfi úr graníti eru mikið notuð íafar nákvæmniHreyfipallar fyrir framleiðslu hálfleiðara, ljósleiðni og mælifræði á nanómetrakvarða.
Þessi kerfi útrýma vélrænni snertingu með því að nota þunna þrýstiloftfilmu, sem nær næstum engri núningshreyfingu.
Loftlagningarregla
Loftlegur virka með því að koma þrýstilofti á milli tveggja yfirborða og mynda 2–20 μm loftfilmu.
Þetta útilokar:
- Vélrænn núningur
- Klæðist
- Hegðun sem festist og rennur
Kerfið byggir á vökvafilmuhreyfingum og stöðugu laminarflæði.
Hlutverk graníts
Granít býður upp á:
- Uppbyggingarstöðugleiki
- Varmadriftsbæling
- Titringsdempun
Það þjónar sem vélrænn viðmiðunargrunnur fyrir hreyfikerfið.
Kerfisþættir
- Granítgrunnur
- Loftlagerpúðar
- Loftbirgðakerfi
- Nákvæmar kóðarar
- Hreyfistýringarkerfi
Afköst
Dæmigert frammistaða felur í sér:
- Staðsetningarnákvæmni undir míkron
- Mikil beinleiki yfir langar ferðir
- Núll vélræn bakslag
Helstu villuvaldar eru meðal annars óstöðugleiki í loftþrýstingi, hitadrift og villa í kóðara.
Umsóknir
- Skoðun á hálfleiðaraskífum
- Litografíukerfi
- Sjónrænar jöfnunarpallar
- Háþróaðar mælitæki
Algengar spurningar
Slitast loftlager?
Engin vélræn snerting útilokar slit.
Af hverju að nota granít?
Fyrir stöðugleika og titringsdeyfingu.
Hvað takmarkar nákvæmni?
Loftstöðugleiki og hitaáhrif.
Geta þeir borið þungar byrðar?
Já, allt eftir hönnun.
Birtingartími: 3. júlí 2026