Að sigla yfir titrings- og hreyfingarþróun í framleiðslu hálfleiðara árið 2026

Þar sem hálfleiðaraiðnaðurinn sækist ötullega eftir vinnsluhnútum undir 2nm, hefur svigrúmið fyrir vélræn mistök nánast horfið. Í þessu umhverfi þar sem mikil áhætta er stöðugleiki vinnsluhólfsins ekki lengur aukaatriði; það er aðal flöskuhálsinn fyrir afköst. Hjá ZHHIMG sjáum við grundvallarbreytingu á því hvernig alþjóðlegir framleiðendur nálgast burðarþol fjárfestingarbúnaðar hálfleiðara.

Eðlisfræði þagnarinnar: Ítarlegar aðferðir við titringsdeyfingu

Í nútíma framleiðslu á skífum eru titringar sem áður voru taldar „bakgrunnshljóð“ nú skelfilegar. Hvort sem um er að ræða örsveiflur frá loftræstikerfi aðstöðunnar eða innri tregðu í hraðskreiðum skönnunarstigi, þá leiðir stjórnlaus orka beint til yfirlagsvillna og óskýrra mynstra.

Núverandi aðferðir til að dempa titring í framleiðslu hálfleiðara hafa þróast í marglaga arkitektúr. Þó að óvirk dempun - með því að nota efni með miklum massa eins og steinsteypu eða nákvæmnisgranít - sé enn grunnurinn, sjáum við aukningu í samþættingu virkrar dempunar.

Virk kerfi nota piezoelektríska stýribúnaði og rauntíma skynjara til að „hætta við“ titringi með því að mynda móttíðni. Hins vegar er virkni virkra kerfa í eðli sínu takmörkuð af dempunarhlutfalli grunnefnisins. Þetta er þar sem sérþekking ZHHIMG á mjög dempandi byggingarefnum verður mikilvæg. Með því að sameina virka rafeindatækni við náttúrulega óvirkan granít- eða samsettan grunn, bjóðum við upp á „hljóðlátt svæði“ þar sem nanóstaðsetning getur átt sér stað án truflana.

Uppgangur núningslausrar hreyfingar: Loftlagningartækni

Eftirspurn eftir meiri afköstum hefur ýtt hefðbundnum vélrænum legum út á mörk sín. Núningur leiðir til hita og hiti leiðir til varmaþenslu - óvinur nákvæmni. Þetta hefur leitt til útbreiddrar notkunar áLoftlagningartækni fyrir nákvæmar stig.

Loftlager bera þunga þrýstiloftfilmu, yfirleitt aðeins nokkurra míkron þykka. Þar sem engin snerting er til staðar er enginn stöðugur núningur (stífleiki). Þetta gerir kleift að:

• Hysteresus-frjáls hreyfing: Að tryggja að sviðið snýr aftur til nákvæmlega sömu nanómetrahnit í hvert skipti.

• Hraði sem er stöðugur: Mikilvægt fyrir skönnunarforrit eins og skoðun rafgeisla þar sem jafnvel hirða „tannhjólun“ í vélrænum legum myndi skekkja myndina.

• Mikil endingartími: Þar sem engir hlutar snertast er ekkert slit og engar agnamyndanir, sem gerir þá tilvalda fyrir hreinrými af 1. flokki.

Hjá ZHHIMG framleiðum við afar flata granítfleti sem þjóna sem leiðarbrautir fyrir þessar loftlager. Til að þessir fletir virki rétt verður að vera lagaðir þar til þeir eru flatir, mælt í brotum af ljósbylgjulengd.

Þróun í fjárfestingarbúnaði fyrir hálfleiðara: 2026 og síðar

Þegar við förum í gegnum árið 2026, þáþróun í fjárfestingarbúnaði í hálfleiðurumeinkennast af „þremur súlum“: Mátunaruppbyggingu, sjálfbærni og hitastýringu.

1. Hönnun á einingapalli: Framleiðendur eru að leita að grunneiningum sem hægt er að tengja saman og spila. Í stað þess að hanna nýjan grunn fyrir hvert verkfæri nota þeir staðlaðar ZHHIMG nákvæmnisgrunneiningar sem hægt er að aðlaga fyrir steinþrykk, mælifræði eða etsun.

2. Hitastjórnun: Þar sem ljósgjafar úr öfgafullum útfjólubláum geislum (EUV) mynda mikinn hita, verður vélin að virka sem gríðarlegur hitasvelgir. Við erum að samþætta flóknar kælirásir beint í steinefna- og granítíhluti okkar til að viðhalda kælihlutfalli upp á $<0,01^\circ\text{C}$.

3. Samhæfni við lofttæmi: Þar sem fleiri ferli færast yfir í umhverfi með miklu lofttæmi verða efnin sem notuð eru að losa ekki loft. Sérhæfð granít- og keramikvinnsla okkar tryggir að burðarvirki lofttæmisins skerðist aldrei vegna undirstöðu burðarvirkisins.

Stefnumótandi samstarf við ZHHIMG

ZHHIMG er ekki bara framleiðandi íhluta; við erum stefnumótandi samstarfsaðili í framboðskeðju hreyfistýringa. Verksmiðja okkar í Kína vinnur náið með verkfræðiteymum í Silicon Valley og Eindhoven til að leysa erfiðustu stöðugleikaáskoranirnar í greininni.

Með því að nýta okkar sérhæfðu lappingartækni og djúpa þekkingu okkar átitringsdempunartækni, gerum við viðskiptavinum okkar kleift að færa sig út fyrir mörk lögmáls Moore. Hvort sem þú ert að þróa næstu kynslóð ALD (Atomic Layer Deposition) tól eða hraðvirka skífumæla, þá byrjar grunnurinn með ZHHIMG.

Niðurstaða

Þróun framleiðslu hálfleiðara er kapphlaup gegn lögmálum eðlisfræðinnar. Þegar iðnaðurinn stefnir að árinu 2026 mun áherslan á nákvæmni loftlagna og háþróaða dempun aðeins aukast. Að vera á undan þessum þróun krefst grunns - bæði bókstaflega og í óeiginlegri merkingu - sem byggir á sérfræðiþekkingu og nýsköpun.