Í nákvæmri framleiðslukeðju hálfleiðara er flutningskerfið fyrir skífur eins og „líflína flísarframleiðslulínunnar“ og stöðugleiki þess og nákvæmni ákvarðar beint afköst flísanna. Nýja kynslóð skífuflutningskerfa sameinar byltingarkennda línumótora með granítgrunni og einstakir kostir granítefna eru einmitt kjarninn í að opna fyrir afkastamikla flutninga.
Granítgrunnur: Að byggja upp „grjótfastan grunn“ fyrir stöðuga flutninga
Granít, sem hefur gengist undir jarðfræðilega hreinsun í hundruð milljóna ára, einkennist af þéttri og einsleitri innri steinefnakristöllun. Þessi náttúrulegi eiginleiki gerir það að kjörnu grunnefni fyrir flutningskerfi fyrir skífur. Í flóknu umhverfi hálfleiðarahreinrýma getur granít, með afar lágum varmaþenslustuðli (aðeins 5-7 × 10⁻⁶/℃), staðist hita sem myndast við notkun búnaðar og áhrif umhverfishitabreytinga, sem tryggir stöðugleika grunnstærðarinnar og kemur í veg fyrir frávik í flutningsleiðinni sem stafar af varmaaflögun. Framúrskarandi titringsdeyfandi eiginleikar þess geta fljótt dregið í sig vélræna titring sem myndast við ræsingu, lokun og hröðun línulegra mótora, sem og utanaðkomandi truflanir sem stafa af notkun annars búnaðar í verkstæðinu, sem veitir stöðugan vettvang með „núll titringi“ fyrir flutning skífna.
Á sama tíma tryggir efnafræðilegur stöðugleiki graníts að það tærist ekki eða ryðgar í hálfleiðaraverkstæðum þar sem sýrur og basísk hvarfefni eru rokgjörn og mikil hreinlæti er krafist, og þannig er komið í veg fyrir áhrif á nákvæmni sendingar vegna öldrunar efnisins eða mengunarupptöku. Slétt og þétt yfirborðseiginleikar geta dregið úr rykviðloðun á skilvirkari hátt, uppfyllt strangar kröfur um ryklaust ástand í hreinum rýmum og útrýmt hættu á mengun skífna frá rótinni.
Áhrif „gullna samstarfsins“ milli línulegra mótora og graníts
Línulegir mótorar, með einkennum sínum eins og engin vélræn bil í gírkassanum, mikilli hröðun og miklum svörunarhraða, veita skífuflutningi kosti þess að vera „hraður, nákvæmur og stöðugur“. Granítgrunnurinn veitir honum traustan og áreiðanlegan stuðningsgrunn. Þessir tveir vinna saman að því að ná fram stórkostlegri afköstum. Þegar línulegi mótorinn knýr skífuflutningsbúnaðinn til að keyra á granítgrunnsbrautinni, tryggir sterkur stífleiki og stöðugleiki grunnsins skilvirka flutning drifkrafts mótorsins, sem kemur í veg fyrir krafttap eða töf í flutningi vegna aflögunar grunnsins.
Knúnir áfram af kröfum um nákvæmni á nanóskala geta línulegir mótorar náð stjórnun á tilfærslu á undir míkronstigi. Nákvæmni vinnslueiginleikar granítgrunna (með flatneskjuvillu stýrðri innan ±1μm) passa fullkomlega við nákvæma stjórnun línulegra mótora og tryggja þannig að staðsetningarvillan við flutning á skífum sé minni en ±5μm. Hvort sem um er að ræða hraðvirka flutning á milli ýmissa vinnslutækja eða nákvæma stöðu við afhendingu skífa, getur samsetning línulegra mótora og granítgrunna tryggt „núll frávik og núll titring“ í flutningi skífa.
Staðfesting á starfsvenjum í greininni: Tvöföld aukning á skilvirkni og afköstum
Eftir að hafa uppfært flutningskerfi sitt fyrir skífur tók leiðandi alþjóðlegt hálfleiðarafyrirtæki upp lausn með línulegum mótor og granítgrunni, sem jók skilvirkni skífuflutningsins um 40%, minnkaði tíðni galla eins og árekstra og frávika við flutningsferlið um 85% og bætti heildarafköst flísanna um 6%. Að baki gögnunum liggur ábyrgð á flutningsstöðugleika sem granítgrunnurinn veitir og háhraða og nákvæm samverkunaráhrif línulega mótorsins, sem dregur verulega úr tapi og villum í skífuflutningsferlinu.
Frá efniseiginleikum til nákvæmrar framleiðslu, frá afköstum til hagnýtrar sannprófunar, hefur samsetning línulegra mótora og granítgrunna endurskilgreint staðla fyrir flutningskerfi fyrir skífur. Í framtíðinni, þegar hálfleiðaratækni þróast í átt að 3nm og 2nm ferlum, munu granítefni örugglega halda áfram að hvetja þróun iðnaðarins sterkt með óbætanlegum kostum sínum.
Birtingartími: 14. maí 2025