Að velja á milli granít loftbeygjuleiðara og vélrænna rúllukerfa

Í leit að næstu kynslóð hálfleiðaraframleiðslu og mælitækni á undirmíkronum eru „grunnurinn“ og „leiðin“ tvær mikilvægustu breyturnar. Þar sem vélahönnuðir stefna að meiri afköstum og endurtekningarnákvæmni á nanómetrastigi, er valið á milli...Leiðarvísir fyrir loftlagningu granítsog hefðbundin rúllulagerleiðsla hefur orðið lykilatriði í verkfræði. Ennfremur ræður efni vélarinnar sjálfrar - samanborið við granít og afkastamikið keramik - hita- og titringsmörk alls kerfisins.

Samanburður á granít loftlagerleiðbeiningum og rúllulagerleiðbeiningum

Grundvallarmunurinn á þessum tveimur kerfum liggur í aðferð þeirra til að styðja við álagið og stjórna núningi.

Leiðbeiningar um loftlagnir úr granítitákna hámark núningslausrar hreyfingar. Með því að nota þunna filmu af þrýstilofti - venjulega á bilinu 5 til 20 míkron - svífur hreyfanlega vagninn bókstaflega yfir granítleiðarann.

• Núll núningur og slit:Þar sem engin líkamleg snerting er til staðar er engin „stífleiki“ (stöðurafmagnsnúningur) sem þarf að yfirstíga og kerfið slitnar aldrei. Þetta gerir kleift að fá ótrúlega mjúka skönnun með jöfnum hraða.

• Villumeðaltal:Einn mikilvægasti kosturinn við loftlegur er hæfni þeirra til að „meðalja“ út smásjár óreglu á yfirborði granítjárnsins, sem leiðir til beinnari hreyfingar en járnbrautin sjálf.

• Hreinlæti:Þessar leiðarar þurfa ekki smurningu og eru því í eðli sínu samhæfar við hreinherbergi, sem gerir þær að staðlinum fyrir skoðun á skífum og framleiðslu á flatskjám.

Leiðbeiningar fyrir rúllulager, öfugt, treysta á líkamlega snertingu nákvæmra stálvalsa eða kúlna.

• Yfirburðargeta:Fyrir notkun sem felur í sér mikla byrði eða mikla skurðkrafta (eins og nákvæmnisslípun) bjóða rúllulegur upp á verulega meiri stífleika og burðargetu.

• Einfaldleiki í rekstri:Ólíkt loftlegum, sem krefjast stöðugs, afarhreins þrýstilofts og síunarkerfa, eru rúllulegur „plug-and-play“.

• Samþjöppuð hönnun:Vélrænar legur geta oft borið hærri álag á minni lóðum samanborið við stærra yfirborðsflatarmál sem þarf fyrir virkan loftlegur púða.

Þó að rúllulegur séu sterk og hagkvæm fyrir almenna nákvæmni, eru loftlegur óumdeilanlegt val fyrir notkun þar sem „snerting“ er óvinur nákvæmninnar.

Notkun loftbeygjuleiðara: Þar sem nákvæmni mætir flæði

Notkun loftlagerleiðara hefur breiðst út fyrir rannsóknarstofur og er nú notuð í stórum iðnaðarframleiðslu.

ÍHálfleiðaraiðnaðurLoftlegur eru notaðar í litografíu og skífugreiningu. Hæfni þeirra til að hreyfast á miklum hraða án titrings tryggir að skönnunarferlið veldur ekki skemmdum í nanómetra-skala rafrásunum.

In Stafræn myndgreining og stórsniðið skönnun, stöðugur hraði loftlegis er afar mikilvægur. Öll „tannhreyfing“ eða titringur frá vélrænum legum myndi leiða til „röndunar“ eða röskunar á lokaupplausnarmyndinni.

Hnitamælitæki (CMM)Treystið á loftlaga leiðarar úr graníti til að tryggja að mælirinn geti hreyfst með sem minnstu snertingu. Skortur á núningi gerir stjórnkerfi vélarinnar kleift að bregðast strax við minnstu yfirborðsbreytingum á þeim hluta sem verið er að mæla.

Efnisgrunnurinn: Granít vs. Keramik fyrir vélagrunna

Afköst leiðarkerfa eru takmörkuð af stöðugleika undirstöðunnar sem þau eru fest á. Í áratugi hefur granít verið staðallinn í greininni, en háþróuð keramik (eins og áloxíð eða kísillkarbíð) eru að skapa sér sess í afkastamiklum notkunarmöguleikum.

Granítvélagrunnareru áfram kjörinn kostur fyrir 90% af forritum sem krefjast mikillar nákvæmni.

• Dempunareiginleikar:Granít er náttúrulega betri í að gleypa hátíðni titring, sem er nauðsynlegt fyrir mælifræði.

• Hagkvæmni:Fyrir stórar undirstöður (allt að nokkrir metrar) er granít mun hagkvæmara í öflun og vinnslu en tæknileg keramik.

• Varmaþrengsli:Mikil massi graníts þýðir að það bregst hægt við breytingum á umhverfishita og veitir stöðugt umhverfi fyrir langtímamælingar.

Keramikvélargrunnar(sérstaklega áloxíð) eru notuð þegar „fullkomins“ afkasta er krafist.

• Hátt stífleikahlutfall miðað við þyngd:Keramik er mun stífara en granít fyrir sömu þyngd. Þetta gerir kleift að hraða og hægja á hreyfanlegum stigum án þess að afmynda botninn.

• Mjög mikill hitastöðugleiki:Sum keramik hafa jafnvel lægri varmaþenslustuðul (CTE) en granít, og hærri varmaleiðni þeirra gerir grunninum kleift að ná varmajafnvægi hraðar.

• Hörku:Keramik er nánast rispuþolið og ónæmt fyrir efnaeyðingu, þó það sé brothættara og mun dýrara að framleiða í stórum sniðum.

Skuldbinding ZHHIMG við efnisfræði

Hjá ZHHIMG teljum við að besta lausnin sé sjaldan ein lausn sem hentar öllum. Verkfræðiteymi okkar sérhæfir sig í samþættingu þessara tækni. Við notum oft titringsdeyfandi massa granítgrunns til að styðja við núningslausa hreyfingu loftleguleiðara, stundum með keramikinnleggjum á mikilvægum stöðum þar sem mikið slit eða mikill stífleiki er til staðar.

Sem leiðandi framleiðandi bjóðum við heimsmarkaðnum upp á jarðfræðilega vissu úrvals graníts og tæknilega fágun nútíma hreyfikerfa. Framleiðsluaðstaða okkar sameinar hefðbundna handslípunarþekkingu - færni sem þarf til að ná fram þeim flatleika sem loftlegur hafa nauðsynlegan - við nýjustu tækni CNC-vinnslu og leysigeisla-interferómetríu.

Niðurstaða: Verkfræði velgengni þinnar

Valið á milli graníts og keramik, eða á milli loft- og vélrænna legur, ræður að lokum rekstrarmörkum tækninnar. Fyrir verkfræðinga í geimferða-, hálfleiðara- og mælifræðigeiranum er skilningur á þessum málamiðlunum lykillinn að nýsköpun. ZHHIMG Group heldur áfram að færa mörk þess sem er mögulegt í nákvæmri hreyfingu og tryggir að vélin þín standi á grunni algjörs stöðugleika og hreyfist með óviðjafnanlegri nákvæmni.