♦ Súrál (Al2O3)
Nákvæmni keramikhlutarnir sem framleiddir eru af ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) geta verið gerðir úr háhreinu keramikhráefni, 92 ~ 97% súrál, 99,5% súrál, >99,9% súrál og CIP köldu jafnstöðupressu.Háhita sintering og nákvæm vinnsla, víddarnákvæmni ± 0,001 mm, sléttleiki allt að Ra0,1, notkun hitastig allt að 1600 gráður.Hægt er að búa til mismunandi liti af keramik í samræmi við kröfur viðskiptavina, svo sem: svart, hvítt, drapplitað, dökkrauð, osfrv. Nákvæmni keramikhlutar sem framleiddir eru af fyrirtækinu okkar eru ónæmar fyrir háum hita, tæringu, sliti og einangrun og geta verið notað í langan tíma í umhverfi með háum hita, lofttæmi og ætandi gasi.
Mikið notað í margs konar framleiðslubúnaði fyrir hálfleiðara: Rammar (keramikfesting), undirlag (botn), armur / brú (stýritæki), vélrænir íhlutir og keramikloftleg.
vöru Nafn | Hár hreinleiki 99 súrál keramik ferningur rör / rör / stöng | |||||
Vísitala | Eining | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99,5% Al2O3 | |
Þéttleiki | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3.8 | 3.9 | |
Vatnsupptaka | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Sinterað hitastig | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
hörku | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Beygjustyrkur (20 ℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Þrýstistyrkur | Kgf/cm2 | 10000 | 25.000 | 30000 | 30000 | |
Langtíma vinnuhitastig | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
HámarkVinnuhitastig | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Rúmmálsviðnám | 20℃ | Ω.cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Notkun háhreins súráls keramik:
1. Notað á hálfleiðarabúnað: keramik tómarúm chuck, skurðarskífa, hreinsidiskur, keramik CHUCK.
2. Hlutar til að flytja oblátur: chucks meðhöndlun obláta, skurðardiskar fyrir oblátur, hreinsidiskar fyrir oblátur, sogskálar fyrir sjónskoðun á oblátum.
3. LED / LCD flatskjár sýna iðnaður: keramik stútur, keramik mala diskur, LIFT PIN, PIN járnbrautum.
4. Optical samskipti, sól iðnaður: keramik rör, keramik stangir, hringrás borð skjár prentun keramik scrapers.
5. Hitaþolnir og rafeinangrandi hlutar: keramik legur.
Sem stendur er hægt að skipta áloxíðkeramik í háhreinleika og algengt keramik.Háhreinleiki áloxíð keramik röð vísar til keramik efnisins sem inniheldur meira en 99,9% Al2O3.Vegna sintunarhitastigs allt að 1650 - 1990°C og flutningsbylgjulengdar 1 ~ 6μm, er það venjulega unnið í sameinað gler í stað platínudeiglu: sem hægt er að nota sem natríumrör vegna ljósgeislunar og tæringarþols til alkalímálmi.Í rafeindaiðnaðinum er hægt að nota það sem hátíðni einangrunarefni fyrir IC hvarfefni.Samkvæmt mismunandi innihaldi áloxíðs má skipta algengu áloxíðkeramikröðinni í 99 keramik, 95 keramik, 90 keramik og 85 keramik.Stundum er keramik með 80% eða 75% af áloxíði einnig flokkað sem algengt áloxíð keramik röð.Meðal þeirra er 99 áloxíð keramik efni notað til að framleiða háhita deiglu, eldvarnarofnrör og sérstök slitþolin efni, svo sem keramik legur, keramik þéttingar og ventlaplötur.95 ál keramik er aðallega notað sem tæringarþolinn slitþolinn hluti.85 keramik er oft blandað í suma eiginleika og bætir þar með rafafköst og vélrænan styrk.Það getur notað mólýbden, níóbíum, tantal og önnur málmþéttingar, og sum eru notuð sem rafmagns tómarúmtæki.
Gæðavara (fulltrúagildi) | vöru Nafn | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Efnasamsetning Lágt natríum Auðveld sintunarvara | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
LOl | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0.11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂03 | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Miðlungs kornaþvermál (MT-3300, lasergreiningaraðferð) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α Kristallstærð | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Myndunarþéttleiki** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2,35 | 2,57 | 2,56 | |
Sinteringarþéttleiki** | g/cm³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
Minnkandi hlutfall sintunarlínu** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO er ekki innifalið í útreikningi á hreinleika Al₂O₃.
* Ekkert hreisturduft 29,4MPa (300kg/cm²), hertuhitastig er 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Bættu við 0,05 ~ 0,1% MgO, sintranleiki er frábær, svo það á við um áloxíð keramik með hreinleika meira en 99%.
AES-22S: Einkennist af miklum myndunarþéttleika og lágum rýrnunarhraða sintunarlínu, það á við til að renna formsteypu og aðrar stórar vörur með nauðsynlegri víddarnákvæmni.
AES-23 / AES-31-03: Það hefur meiri myndunarþéttleika, tíkótrópíu og lægri seigju en AES-22S.sá fyrrnefndi er notaður í keramik en sá síðarnefndi er notaður sem vatnsrennsli fyrir eldvarnarefni og nýtur vinsælda.
♦Kísilkarbíð (SiC) eiginleikar
Almenn einkenni | Hreinleiki aðalþátta (wt%) | 97 | |
Litur | Svartur | ||
Þéttleiki (g/cm³) | 3.1 | ||
Vatnsupptaka (%) | 0 | ||
Vélrænir eiginleikar | Beygjustyrkur (MPa) | 400 | |
Young stuðull (GPa) | 400 | ||
Vickers hörku (GPa) | 20 | ||
Hitaeiginleikar | Hámarks vinnsluhiti (°C) | 1600 | |
Varmaþenslustuðull | RT~500°C | 3.9 | |
(1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
Varmaleiðni (W/m x K) | 130 110 | ||
Hitaáfallsþol ΔT (°C) | 300 | ||
Rafmagns einkenni | Rúmmálsviðnám | 25°C | 3 x 106 |
300°C | - | ||
500°C | - | ||
800°C | - | ||
Rafstuðull | 10GHz | - | |
Rafmagnstap (x 10-4) | - | ||
Q Factor (x 104) | - | ||
Rafmagnsbilunarspenna (KV/mm) | - |
♦ Silicon Nitride Keramik
Efni | Eining | Si₃N₄ |
Sinterunaraðferð | - | Gasþrýstingssintraður |
Þéttleiki | g/cm³ | 3.22 |
Litur | - | Dökk grár |
Vatnsupptökuhraði | % | 0 |
Young Modulus | Gpa | 290 |
Vickers hörku | Gpa | 18 - 20 |
Þrýstistyrkur | Mpa | 2200 |
Beygjustyrkur | Mpa | 650 |
Varmaleiðni | W/mK | 25 |
Hitaáfallsþol | Δ (°C) | 450 - 650 |
Hámarks rekstrarhiti | °C | 1200 |
Rúmmálsviðnám | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Dielectric stöðug | - | 8.2 |
Rafmagnsstyrkur | kV/mm | 16 |