♦ Alumina (Al2O3)
Hægt er að búa til nákvæmni keramikhluta sem framleiddir eru af Zhonghui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) úr háu hreinu keramik hráefni, 92 ~ 97% súrál, 99,5% súrál,> 99,9% súrál og CIP kalt isostatic pressing. Háhita sintrun og nákvæmni vinnsla, víddar nákvæmni ± 0,001 mm, sléttleiki allt að RA0.1, notaðu hitastig allt að 1600 gráður. Hægt er að gera mismunandi litir af keramik í samræmi við kröfur viðskiptavina, svo sem: svart, hvítt, beige, dökkrautt osfrv. Nákvæmni keramikhlutar sem framleiddir eru af fyrirtækinu okkar eru ónæmir fyrir háum hita, tæringu, slit og einangrun og er hægt að nota í langan tíma í háum hita, tómarúm og ætandi gasumhverfi.
Víðlega notað í ýmsum hálfleiðara framleiðslubúnaði: rammar (keramikfesting), undirlag (grunn), handleggur/ brú (Manipulator), vélrænni íhlutir og keramikloftlag.
Vöruheiti | High Purity 99 Alumina keramik ferningur rör / pípa / stöng | |||||
Vísitala | Eining | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | |
Þéttleiki | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
Frásog vatns | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Sintered hitastig | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Hörku | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Beygjustyrkur (20 ℃)) | MPA | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Þjöppunarstyrkur | Kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Langt vinnuhitastig | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Max. Vinnuhitastig | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Hljóðstyrk | 20 ℃ | Ω. CM3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 |
Beiting af mikilli hreinleika súrál keramik:
1. Beitt á hálfleiðara búnað: keramik tómarúm chuck, skurður diskur, hreinsi diskur, keramik chuck.
2. Flutningshlutar með skífu: Gaf með meðhöndlun chucks, skurðarskífu, þrif á skífu, skífu sjónræn skoðun sogskolla.
3. LED / LCD Flat pallborðsskjár atvinnugrein: keramik stút, keramikmala diskur, lyftupinna, pinna járnbraut.
4.. Ljóssamskipti, sólariðnaður: Keramikrör, keramikstangir, skjáborðskjáprentun keramikskrapa.
5. Hitþolnir og rafeinangrandi hlutar: keramik legur.
Sem stendur er hægt að skipta áloxíð keramik í mikla hreinleika og algeng keramik. Mikið hreinleika áloxíð keramik röð vísar til keramikefnisins sem inniheldur meira en 99,9% al₂o₃. Vegna sintrunarhitastigs allt að 1650 - 1990 ° C og flutnings bylgjulengd 1 ~ 6μm, er það venjulega unnið í blandað gler í stað platínu deiglunar: sem hægt er að nota sem natríumrör vegna ljósaflutnings og tæringarþols gegn alkalímálmi. Í rafeindatækniiðnaðinum er hægt að nota það sem hátíðni einangrunarefni fyrir IC undirlag. Samkvæmt mismunandi innihaldi áloxíðs er hægt að skipta algengu áloxíðkeramikröðinni í 99 keramik, 95 keramik, 90 keramik og 85 keramik. Stundum er keramikið með 80% eða 75% af áloxíði einnig flokkað sem algengt áloxíð keramikröð. Meðal þeirra er 99 áloxíð keramikefni notað til að framleiða háhita deiglu, eldföst ofni rör og sérstök slitþolin efni, svo sem keramik legur, keramikþéttingar og lokiplötur. 95 Keramik á ál er aðallega notað sem tæringarþolinn slitþolinn hluti. 85 keramik er oft blandað saman í sumum eiginleikum og bætir þannig rafmagnsafköst og vélrænan styrk. Það getur notað mólýbden, níóbíum, tantal og aðrar málmþéttingar og sumir eru notaðir sem rafmagns tómarúm tæki.
Gæðatriði (dæmigert gildi) | Vöruheiti | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11f | AES-22s | AES-23 | AL-31-03 | |
Efnasamsetning lág-natríum auðveld sintrunarafurð | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
LOL | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
Sio₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂o | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MGO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
Miðlungs þvermál agna (MT-3300, leysigreiningaraðferð) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α kristalstærð | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1.0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Mynda þéttleika ** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
Sintering þéttleiki ** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
Minnkandi hraði sintralínu ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MGO er ekki með í útreikningi á hreinleika al₂o₃.
* Ekkert stigstærð duft 29,4MPa (300 kg/cm²), sintrunarhiti er 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: Bætið við 0,05 ~ 0,1% MGO, siNterability er frábært, svo það á við um áloxíð keramik með hreinleika meira en 99%.
AES-22S: Einkennt af mikilli myndandi þéttleika og lágum minnkandi hraða sintrunarlínu, á það við um steypu formsins og aðrar stórar vörur með nauðsynlega víddar nákvæmni.
AES-23 / AES-31-03: Það hefur hærri myndunarþéttleika, tixotropy og lægri seigju en AES-22s. Sá fyrrnefndi er notaður til að keramik á meðan sá síðarnefndi er notaður sem vatnsleyfi fyrir eldvarnarefni og öðlast vinsældir.
♦ Silicon Carbide (SIC) einkenni
Almenn einkenni | Hreinleiki aðalþátta (WT%) | 97 | |
Litur | Svartur | ||
Þéttleiki (g/cm³) | 3.1 | ||
Frásog vatns (%) | 0 | ||
Vélræn einkenni | Sveigjanleiki (MPA) | 400 | |
Young Modulus (GPA) | 400 | ||
Vickers hörku (GPA) | 20 | ||
Varmaeinkenni | Hámarks rekstrarhiti (° C) | 1600 | |
Hitauppstreymisstuðull | RT ~ 500 ° C. | 3.9 | |
(1/° C x 10-6) | RT ~ 800 ° C. | 4.3 | |
Hitaleiðni (w/m x k) | 130 110 | ||
Hitauppstreymisþol Δt (° C) | 300 | ||
Rafmagnseinkenni | Hljóðstyrk | 25 ° C. | 3 x 106 |
300 ° C. | - | ||
500 ° C. | - | ||
800 ° C. | - | ||
Dielectric stöðugur | 10ghz | - | |
Dielectric tap (x 10-4) | - | ||
Q Factor (x 104) | - | ||
Dielectric sundurliðunarspenna (KV/mm) | - |
♦ Silicon Nitride keramik
Efni | Eining | Si₃n₄ |
Sintrunaraðferð | - | Gasþrýstingur sintraður |
Þéttleiki | g/cm³ | 3.22 |
Litur | - | Dökkgrár |
Frásogshraði vatns | % | 0 |
Ungur stuðull | GPA | 290 |
Vickers hörku | GPA | 18 - 20 |
Þjöppunarstyrkur | MPA | 2200 |
Beygja styrk | MPA | 650 |
Hitaleiðni | M/mk | 25 |
Varmaáfallsþol | Δ (° C) | 450 - 650 |
Hámarks rekstrarhita | ° C. | 1200 |
Hljóðstyrk | Ω · cm | > 10 ^ 14 |
Dielectric stöðugur | - | 8.2 |
Dielectric styrkur | kv/mm | 16 |