Hálfleiðaraiðnaðurinn starfar með nákvæmni sem færir út mörk mannlegrar hugvitssemi. Í hjarta gæðaeftirlits þessarar iðnaðar – síðasta, mikilvæga skrefið áður en örgjörvi er talinn tilbúinn á markað – liggur sýnilega einfalt efni: granít. Nánar tiltekið eru nákvæmnisgranítpallar kjörin lausn fyrir skoðun á hálfleiðaraörgjörvum, staðreynd sem gæti komið þeim sem eru utan þessa geira á óvart. Hjá ZHONGHUI Group (ZHHIMG®) skiljum við þetta samband náið. Sérþekking okkar í smíði á afar nákvæmum granítíhlutum og mælitækjum hefur gert okkur að lykilfélaga fyrir nokkur af leiðandi hálfleiðara- og mælifræðifyrirtækjum heims. Traust okkar á granít fyrir þessa mikilvægu notkun er ekki spurning um hefð heldur hreina eðlisfræði og verkfræði. Það snýst um að uppfylla einstakar og krefjandi kröfur sem ekkert annað efni getur uppfyllt eins vel.
Óþrjótandi krafa um stöðugleika
Skoðun á hálfleiðaraflísum snýst ekki bara um að athuga hvort gallar séu til staðar; hún snýst um að staðfesta að smásjáreiginleikar, oft mældir í nanómetrum, séu fullkomlega mótaðir. Þetta ferli felur í sér háþróaðan búnað, svo sem sjónræna skoðunarkerfi (AOI) og iðnaðar tölvusneiðmyndatæki, sem verða að vera fullkomlega stöðugir meðan á skönnun stendur. Allur titringur, hitaþensla eða byggingarbreyting getur valdið villum, sem leiðir til falskra jákvæðra niðurstaðna eða, verra, galla sem ekki eru greindir.
Þetta er þar sem granít skín. Ólíkt málmi, sem þenst út og dregst saman verulega við hitastigsbreytingar, hefur granít ótrúlega lágan varmaþenslustuðul. ZHHIMG® svarta granítið okkar hefur eðlisþyngd upp á um það bil 3100 kg/m3, sem veitir einstakan varmastöðugleika. Þetta þýðir að granítpallur heldur lögun sinni og flatleika jafnvel í umhverfi þar sem umhverfishitastig sveiflast lítillega. Í loftslagsstýrðum verkstæði eins og 10.000 fermetra aðstöðu okkar, þar sem hitastigi er viðhaldið með hernaðarlegri nákvæmni, er stöðugleiki granítsins óviðjafnanlegur.
Þar að auki eru framúrskarandi dempunareiginleikar graníts nauðsynlegir. Það gleypir og dreifir vélrænum titringi á náttúrulegan hátt og kemur í veg fyrir að hann berist í viðkvæman skoðunarbúnað. Í annasömum framleiðsluverksmiðju fullri af vélum er þessi titringsdempun mikilvæg til að viðhalda áreiðanleika mælinganna. Verkstæði okkar eru hönnuð með þetta í huga og eru með afar þykkum steypugólfum og titringsdeyfandi skurðum til að skapa umhverfi þar sem handverksmenn okkar geta náð nákvæmni á nanómetrastigi í vinnu sinni.
Leitin að algjörri flatneskju
Til þess að örgjörvaskoðunarkerfi virki verður grunnurinn að vera eins fullkomlega flatur og mögulegt er. Hugtakið „slétt yfirborð“ í þessu samhengi er ekki sjónrænt heldur stærðfræðilegt, mælt með tækjum eins og Renishaw leysigeislamælum og Swiss Wyler rafeindavogum. Markmið örgjörvaskoðunarmanns er að mæla flatneskju örgjörva með nokkurra míkrona eða jafnvel nanómetra nákvæmni. Til að gera þetta verður kerfið sjálft að vera nokkrar stærðargráður flatara.
Granít er efni sem, með sérhæfðum handslípunaraðferðum okkar, er hægt að slípa niður í flatnæmi sem er nánast óviðjafnanlegt. Meistarameistarar okkar, sem margir hverjir hafa yfir 30 ára reynslu, búa yfir snertiskyni sem gerir þeim kleift að „finna“ flatnæmisfrávik upp á aðeins nokkurra míkrona. Þessi mannlega snerting, ásamt fyrsta flokks búnaði okkar, gerir okkur kleift að framleiða granítplötur með flatnæmi á nanómetrastigi, sem gerir þær að kjörnum viðmiðunarfleti fyrir kvörðun og skoðun. Þetta er grunnurinn að nákvæmri hálfleiðaraskoðun.
Að takast á við einstakar kröfur hálfleiðaraiðnaðarins
Hálfleiðaraiðnaðurinn hefur einnig sérstakar þarfir umfram stöðugleika og flatneskju. Til dæmis nota mörg skoðunarkerfi loftlegur fyrir núningslausa hreyfingu. Granít er frábært efni fyrir loftlegur vegna stífleika þess og gegndræpis sem gerir kleift að ná fínu og jöfnu loftflæði. Loftlegur okkar úr graníti eru sérsmíðaðar til að tryggja mjúka og nákvæma hreyfingu, sem er nauðsynlegt fyrir hraða og nákvæma skoðun.
Að auki er ZHHIMG® Black Granite okkar ekki segulmagnað og ekki leiðandi, sem er mikilvægt fyrir viðkvæma rafeindabúnaði. Það truflar ekki rafsegulsvið prófunarbúnaðarins eða örgjörvans sjálfs. Þessi hlutleysi er eiginleiki sem margir málmpallar geta einfaldlega ekki boðið upp á.
Hjá ZHHIMG® seljum við ekki bara granít. Við leggjum grunninn að fullkomnustu tækni í heimi. Við skuldbindum okkur til viðskiptavina okkar til að bjóða upp á lausnir sem eru án sviks, án þess að fela eða með villandi hætti. Við vinnum náið með samstarfsaðilum okkar, þar á meðal risum eins og Samsung og mælifræðistofnunum, til að tryggja að vörur okkar uppfylli ekki aðeins forskriftir þeirra heldur stuðli einnig að framþróun tækni þeirra. Í framleiðslu á hálfleiðurum, þar sem mikil áhætta er lögð á, eru nákvæmnisgranítpallar ZHHIMG® hljóðlátur og óhreyfanlegur kraftur sem veitir stöðugleika og nákvæmni sem vekur nýjungar morgundagsins til lífsins.
Birtingartími: 28. september 2025