Granít er tegund af bergi sem er þekkt fyrir hörku, endingu og ónæmi gegn efnafræðilegri tæringu. Sem slíkur hefur það orðið vinsælt val fyrir grunn hálfleiðara búnaðar. Varma stöðugleiki granítgrunnsins er einn af aðlaðandi eiginleikum þess.
Varma stöðugleiki vísar til getu efnis til að standast breytingar á uppbyggingu þess þegar það verður fyrir háum hita. Í tengslum við hálfleiðara búnað er bráðnauðsynlegt að grunnurinn hafi mikla hitauppstreymi þar sem búnaðurinn starfar við hátt hitastig í langan tíma. Í ljós hefur komið að granít hefur framúrskarandi hitauppstreymi, með lítinn stuðul hitauppstreymis (CTE).
CTE efnis vísar til þess magns sem stærð þess breytist þegar hún verður fyrir breytingum á hitastigi. Lágt CTE þýðir að efnið er ólíklegra til að undið eða afmyndun þegar það verður fyrir mismunandi hitastigi. Þetta er sérstaklega mikilvægt fyrir grunn hálfleiðara búnaðar, sem þarf að vera stöðugur og flatur til að tryggja nákvæmar og áreiðanlegar niðurstöður.
Í samanburði við önnur efni sem oft eru notuð við hálfleiðara búnað, svo sem ál og ryðfríu stáli, hefur granít miklu lægri CTE. Þetta þýðir að það þolir hærra hitastig án þess að vinda eða afmynda. Að auki gerir hitaleiðni graníts það kleift að dreifa hita hratt, sem getur hjálpað til við að viðhalda stöðugu hitastigi meðan á notkun stendur.
Annar kostur þess að nota granít sem grunn fyrir hálfleiðara búnað er viðnám þess gegn efnafræðilegri tæringu. Búnaðurinn sem notaður er í hálfleiðara framleiðslu felur oft í sér notkun hörðra efna, sem geta tært og skemmt grunninn. Viðnám granít gegn efnafræðilegri tæringu þýðir að það þolir útsetningu fyrir þessum efnum án þess að versna.
Að lokum er hitauppstreymi granít nauðsynlegur eiginleiki fyrir grunn hálfleiðara búnaðar. Lágt CTE, mikil hitaleiðni og ónæmi gegn efnafræðilegum tæringu gera það að kjörnu efni í þessu skyni. Með því að nota granít sem grunn geta framleiðendur hálfleiðara tryggt stöðugleika og nákvæmni búnaðarins, sem leiðir til hágæða vörur og aukna skilvirkni.
Post Time: Mar-25-2024