Granítíhlutir eru mikið notaðir í hálfleiðarabúnaði vegna mikillar stöðugleika og endingar.Þeir eru ábyrgir fyrir því að viðhalda nákvæmni og nákvæmni í framleiðsluferli hálfleiðara.Hins vegar er skilvirkni og áreiðanleiki graníthluta háð stöðlum og forskriftum sem eru uppfylltar við hönnun þeirra, framleiðslu og uppsetningu.
Eftirfarandi eru nokkrir staðla og forskriftir sem þarf að fylgja þegar granítíhlutir eru notaðir í hálfleiðarabúnaði:
1. Efnisþéttleiki: Þéttleiki granítefnisins sem notaður er við framleiðslu á graníthlutum ætti að vera um 2,65g/cm3.Þetta er þéttleiki náttúrulega granítefnisins og það tryggir samkvæmni og áreiðanleika í eiginleikum graníthlutanna.
2. Flatness: Flatness er ein mikilvægasta forskriftin fyrir graníthluta sem notuð eru í hálfleiðarabúnaði.Sléttleiki granítyfirborðsins ætti að vera undir 0,001 mm/m2.Þetta tryggir að yfirborð íhlutarins sé flatt og jafnt, sem er nauðsynlegt fyrir framleiðsluferli hálfleiðara.
3. Yfirborðsfrágangur: Yfirborðsfrágangur graníthluta ætti að vera hágæða, með yfirborðsgrófleika undir 0,4µm.Þetta tryggir að yfirborð graníthlutans hafi lágan núningsstuðul, sem er mikilvægt fyrir sléttan gang hálfleiðarabúnaðar.
4. Hitastækkunarstuðull: Hálfleiðarabúnaður starfar við mismunandi hitastig og graníthlutar ættu að geta staðist hitasveiflur án aflögunar.Hitaþenslustuðull graníts sem notaður er í hálfleiðarabúnaði ætti að vera undir 2 x 10^-6 /°C.
5. Málþol: Málþol skiptir sköpum fyrir frammistöðu graníthluta.Víddarþol granítíhluta ætti að vera innan við ±0,1 mm fyrir allar mikilvægar stærðir.
6. hörku og slitþol: hörku og slitþol eru nauðsynlegar upplýsingar fyrir graníthluta sem notaðir eru í hálfleiðarabúnaði.Granít hefur hörku Mohs skala 6-7, sem gerir það að hentugu efni til notkunar í hálfleiðarabúnaði.
7. Einangrunarárangur: Granítíhlutir sem notaðir eru í hálfleiðarabúnaði ættu að hafa framúrskarandi einangrunarafköst til að koma í veg fyrir skemmdir á viðkvæmum rafeindahlutum.Rafmagnsviðnám ætti að vera yfir 10^9 Ω/cm.
8. Efnaþol: Graníthlutir ættu að vera ónæmar fyrir algengum efnum sem notuð eru í framleiðsluferli hálfleiðara, svo sem sýrur og basa.
Að lokum eru staðlar og forskriftir fyrir granítíhluti sem notaðir eru í hálfleiðarabúnaði mikilvægir til að tryggja langlífi og áreiðanleika bæði íhlutanna og búnaðarins sem þeir eru notaðir í. Fylgja skal nákvæmlega ofangreindum leiðbeiningum við hönnun, framleiðslu og uppsetningu ferla til að tryggja að íhlutirnir séu í hæsta gæðaflokki.Með því að fylgja þessum stöðlum og forskriftum geta hálfleiðaraframleiðendur tryggt að frammistaða búnaðar þeirra haldist sem best, sem leiðir til aukinnar framleiðni og arðsemi.
Pósttími: 20-03-2024