Graníthlutir eru mikið notaðir í hálfleiðarabúnaði vegna mikils stöðugleika og endingar. Þeir bera ábyrgð á að viðhalda nákvæmni og nákvæmni í framleiðsluferlum hálfleiðara. Hins vegar er skilvirkni og áreiðanleiki graníthluta háð stöðlum og forskriftum sem fylgt er við hönnun, smíði og uppsetningu þeirra.
Eftirfarandi eru nokkrir staðlar og forskriftir sem fylgja þarf þegar graníthlutir eru notaðir í hálfleiðarabúnaði:
1. Efnisþéttleiki: Þéttleiki granítefnisins sem notað er við framleiðslu á graníthlutum ætti að vera um 2,65 g/cm3. Þetta er þéttleiki náttúrulegs granítefnis og tryggir samræmi og áreiðanleika í eiginleikum graníthlutanna.
2. Flatleiki: Flatleiki er ein mikilvægasta forskriftin fyrir graníthluti sem notaðir eru í hálfleiðarabúnaði. Flatleiki granítyfirborðsins ætti að vera undir 0,001 mm/m2. Þetta tryggir að yfirborð íhlutsins sé slétt og jafnt, sem er nauðsynlegt fyrir framleiðsluferla hálfleiðara.
3. Yfirborðsáferð: Yfirborðsáferð graníthluta ætti að vera hágæða, með yfirborðsgrófleika undir 0,4µm. Þetta tryggir að yfirborð graníthlutarins hafi lágan núningstuðul, sem er mikilvægt fyrir greiða virkni hálfleiðarabúnaðar.
4. Varmaþenslustuðull: Hálfleiðarabúnaður starfar við mismunandi hitastig og graníthlutar ættu að geta þolað hitasveiflur án þess að afmyndast. Varmaþenslustuðull graníts sem notaður er í hálfleiðarabúnaði ætti að vera undir 2 x 10^-6 /°C.
5. Víddarþol: Víddarþol er mikilvægt fyrir afköst graníthluta. Víddarþol graníthluta ætti að vera innan ±0,1 mm fyrir allar mikilvægar víddir.
6. Hörku og slitþol: Hörku og slitþol eru nauðsynlegar forskriftir fyrir graníthluti sem notaðir eru í hálfleiðarabúnaði. Granít hefur Mohs-hörku upp á 6-7, sem gerir það að hentugri efnivið til notkunar í hálfleiðarabúnaði.
7. Einangrunareiginleikar: Graníthlutir sem notaðir eru í hálfleiðarabúnaði ættu að hafa framúrskarandi einangrunareiginleika til að koma í veg fyrir skemmdir á viðkvæmum rafeindabúnaði. Rafviðnám ætti að vera yfir 10^9 Ω/cm.
8. Efnaþol: Graníthlutar ættu að vera ónæmir fyrir algengum efnum sem notuð eru í framleiðsluferlum hálfleiðara, svo sem sýrum og basum.
Að lokum eru staðlar og forskriftir fyrir granítíhluti sem notaðir eru í hálfleiðarabúnaði mikilvægir til að tryggja endingu og áreiðanleika bæði íhluta og búnaðar sem þeir eru notaðir í. Fylgja skal ofangreindum leiðbeiningum stranglega við hönnun, framleiðslu og uppsetningarferli til að tryggja að íhlutirnir séu af hæsta gæðaflokki. Með því að fylgja þessum stöðlum og forskriftum geta hálfleiðaraframleiðendur tryggt að afköst búnaðar þeirra haldist sem best, sem leiðir til aukinnar framleiðni og arðsemi.
Birtingartími: 20. mars 2024