Hver eru algengu notkun granít í hálfleiðara búnaði?

Granít hefur verið mikið notað í framleiðslu og hönnun hálfleiðara búnaðar í mörg ár. Þetta er vegna framúrskarandi eiginleika þess, sem gerir það að kjörnum efni fyrir mörg forrit. Granít er mjög ónæmt fyrir slit, tæringu og hitauppstreymi, sem gerir það hentugt til notkunar í hörðu umhverfi. Í þessari grein munum við ræða nokkur sameiginleg forrit granít í hálfleiðara búnaði.

1. Mælingarbúnaður

Metrology búnaður er notaður til að mæla víddir og eiginleika hálfleiðara tæki. Granít er oft notað sem grunnur fyrir slíkan búnað vegna mikils stöðugleika þess. Flatness og nákvæmni granít yfirborðsins veita tilvalna tilvísun fyrir nákvæmar mælingar. Að auki dregur hitauppstreymi graníts úr hættu á víddarbreytingum vegna hitastigsbreytileika.

2.. Ljósbúnaður

Granít er einnig notað í sjónbúnaði eins og litografsvélum, sem eru notaðar við framleiðslu á hálfleiðara tækjum. Granítstöðin býður upp á stöðugan vettvang fyrir hátækni ljósfræði sem notuð er í þessum vélum. Framúrskarandi titringsdempandi eiginleikar Granite hjálpa einnig til við að draga úr titringi sem getur haft áhrif á afköst og nákvæmni ljósfræðinnar.

3.

Hálfleiðari vinnsla felur í sér nokkur skref, þar á meðal hreinsun, æting og útfellingu. Granít er notað í nokkrum íhlutum af vinnslubúnaðinum með þak. Til dæmis er granít notað sem hvarfefni fyrir búnað Chemical Gufor Disposition (CVD), sem er notaður til að setja þunnar filmur á kísilþurrkur. Granít er einnig notað við smíði etshólfs og annarra vinnsluskipa, þar sem framúrskarandi efnafræðileg viðnám og víddarstöðugleiki er nauðsynlegur.

4. prófunarbúnaður

Prófunarbúnaður er notaður til að sannreyna afköst og gæði hálfleiðara tæki. Granít er oft notað sem grunnur fyrir prófunarbúnað vegna mikillar stífni og stöðugleika. Granít veitir ekki segulmagnaðir og óleiðandi vettvang sem útrýma truflunum á viðkvæmum prófunarbúnaði. Flatness og nákvæmni granítflötunnar gerir kleift að ná mjög nákvæmum niðurstöðum prófsins.

Niðurstaða

Að lokum, granít er mikilvægt efni í hönnun og framleiðslu á hálfleiðara búnaði. Framúrskarandi eiginleikar þess, þ.mt víddarstöðugleiki, hitauppstreymi, efnaþol og titringsdemping, gera það að kjörnum efni fyrir mörg forrit. Granít er notað í nokkrum mikilvægum íhlutum hálfleiðara búnaðar, þar á meðal mælikvarða, sjónbúnaði, vinnslubúnaði með þaki og prófunarbúnaði. Þar sem eftirspurnin eftir hraðari, minni og öflugri hálfleiðara tækjum heldur áfram að vaxa, er líklegt að notkun granít í hálfleiðara búnaði haldist nauðsynleg.