Granít hefur verið algengt efni í hálfleiðaraiðnaðinum fyrir framúrskarandi vélrænni eiginleika, hitauppstreymi og lítinn stuðul hitauppstreymis. Hins vegar, með sívaxandi eftirspurn eftir meiri nákvæmni og framleiðni, hafa valefni komið fram sem raunhæfir valkostir til framleiðslu á íhlutum hálfleiðara búnaðar. Í þessari grein munum við kanna nokkur af öðrum efnum fyrir graníthluta í hálfleiðara búnaði og bera saman kosti þeirra og galla.
Önnur efni fyrir graníthluta
1. Gler-keramik efni
Gler-keramik efni, svo sem Zerodur og Cervit, hafa fengið víðtæka notkun í hálfleiðaraiðnaðinum vegna lítillar hitauppstreymisstuðuls þeirra, sem er nálægt kísil. Þar af leiðandi geta þessi efni veitt betri hitauppstreymi og aukið nákvæmni í hálfleiðara framleiðsluferlinu. Zerodur hefur einkum mikla einsleitni og stöðugleika, sem gerir það hentugt til framleiðslu á lithography búnaði.
Kostir:
- Lítill stuðull hitauppstreymis
- Mikil nákvæmni og stöðugleiki
- Hentar fyrir háhita forrit
Ókostir:
- Hærri kostnaður miðað við granít
- tiltölulega brothætt, getur valdið áskorunum í vinnslu og meðhöndlun
2. Keramik
Keramikefni, svo sem áloxíð (AL2O3), kísil karbíð (SIC) og kísilnítríð (SI3N4), hafa framúrskarandi vélrænni eiginleika, háhitaþol og lágan hitauppstreymistuðul. Þessir eiginleikar gera keramik tilvalið fyrir hálfleiðara búnaðarhluta sem krefjast mikils hitauppstreymis stöðugleika og nákvæmni, svo sem stigagigt og chucks.
Kostir:
- Mikill hitauppstreymi og styrkur
- Lítill hitauppstreymisstuðull
- Mikil slitþol og efnafræðileg óvirkni
Ókostir:
- getur verið brothætt og viðkvæmt fyrir sprungum, sérstaklega við vinnslu og meðhöndlun
- Vinnsla og fægja keramik getur verið krefjandi og tímafrekt
3. málmar
Efni sem byggir á málmi, svo sem ryðfríu stáli og títanum, hafa verið notuð fyrir nokkra hálfleiðara búnaðarhluta vegna framúrskarandi vinnsluhæfni og mikils styrks. Þeir eru almennt notaðir í forritum þar sem ekki er krafist mikils hitauppstreymis, svo sem kammerhluta, tengi og fóðrunar.
Kostir:
- Góð vinnsla og suðuhæfni
- Mikill styrkur og sveigjanleiki
- Lágmarkskostnaður miðað við nokkur af öðrum efnum
Ókostir:
- Hár hitauppstreymistuðull
- Hentar ekki fyrir háhita notkun vegna hitauppstreymis
- Næmt fyrir tæringu og mengun
Ályktun:
Í stuttu máli, þó að granít hafi verið vinsæll kostur fyrir hálfleiðara búnaðarhluta, hafa önnur efni komið fram, hvert með einstaka kosti og galla. Gler-keramik efni eru mjög nákvæm og stöðug en geta verið brothætt. Keramik er sterk og hefur framúrskarandi hitastöðugleika en getur líka verið brothætt, sem gerir þá krefjandi að framleiða. Málmar eru ódýrir, vélrænir og sveigjanlegir, en þeir hafa hærri stuðull hitauppstreymis og eru næmir fyrir tæringu og mengun. Þegar þú velur efni fyrir hálfleiðara búnað er lykilatriði að huga að sérstökum kröfum forritsins og velja efni sem jafnvægi kostnað, afköst og áreiðanleika.
Post Time: Mar-19-2024