Granít hefur verið almennt notað efni í hálfleiðaraiðnaði fyrir framúrskarandi vélræna eiginleika, hitastöðugleika og lágan varmaþenslustuðul.Hins vegar, með sívaxandi eftirspurn eftir meiri nákvæmni og framleiðni, hafa önnur efni komið fram sem raunhæfur kostur við framleiðslu á íhlutum hálfleiðarabúnaðar.Í þessari grein munum við kanna nokkur önnur efni fyrir graníthluta í hálfleiðarabúnaði og bera saman kosti þeirra og galla.
Önnur efni fyrir graníthluta
1. Gler-keramik efni
Gler-keramik efni, eins og Zerodur og Cervit, hafa náð víðtækri notkun í hálfleiðaraiðnaðinum vegna lágs varmaþenslustuðuls, sem er nálægt kísil.Þar af leiðandi geta þessi efni veitt betri hitastöðugleika og aukna nákvæmni í hálfleiðaraframleiðsluferlinu.Sérstaklega hefur Zerodur mikla einsleitni og stöðugleika, sem gerir hann hentugan til framleiðslu á steinþrykkjabúnaði.
Kostir:
- Lágur varmaþenslustuðull
- Mikil nákvæmni og stöðugleiki
- Hentar fyrir háhita notkun
Ókostir:
- Hærri kostnaður miðað við granít
- Tiltölulega brothætt, getur valdið áskorunum við vinnslu og meðhöndlun
2. Keramik
Keramikefni, eins og áloxíð (Al2O3), kísilkarbíð (SiC) og kísilnítríð (Si3N4), hafa framúrskarandi vélræna eiginleika, háhitaþol og lágan varmaþenslustuðul.Þessir eiginleikar gera keramik tilvalið fyrir hluta hálfleiðarabúnaðar sem krefjast mikillar varmastöðugleika og nákvæmni, svo sem oblátaþrep og chucks.
Kostir:
- Hár hitastöðugleiki og styrkur
- Lágur varmaþenslustuðull
- Mikil slitþol og efnafræðileg tregða
Ókostir:
- Getur verið brothætt og viðkvæmt fyrir sprungum, sérstaklega við vinnslu og meðhöndlun
- Vinnsla og slípun á keramik getur verið krefjandi og tímafrekt
3. Málmar
Málmbundin efni, eins og ryðfríu stáli og títan, hafa verið notuð í suma hluta hálfleiðarabúnaðar vegna framúrskarandi vinnsluhæfni þeirra og mikils styrkleika.Þeir eru almennt notaðir í forritum þar sem mikils hitastöðugleika er ekki krafist, svo sem hólfahluta, tengi og gegnumstreymis.
Kostir:
- Góð vélhæfni og suðuhæfni
- Mikill styrkur og sveigjanleiki
- Lágur kostnaður miðað við sum önnur efni
Ókostir:
- Hár varmaþenslustuðull
- Hentar ekki fyrir háhitanotkun vegna hitauppstreymisvandamála
- Viðkvæm fyrir tæringu og mengun
Niðurstaða:
Í stuttu máli, þó að granít hafi verið vinsælt val fyrir hluta hálfleiðarabúnaðar, hafa önnur efni komið fram, hvert með einstaka kosti og galla.Gler-keramik efni eru mjög nákvæm og stöðug en geta verið brothætt.Keramik er sterkt og hefur framúrskarandi hitastöðugleika en getur líka verið brothætt, sem gerir það erfiðara að framleiða.Málmar eru ódýrir, vinnanlegir og sveigjanlegir, en þeir hafa hærri hitastækkunarstuðul og eru viðkvæmir fyrir tæringu og mengun.Þegar efni eru valin fyrir hálfleiðarabúnað er mikilvægt að huga að sérstökum kröfum umsóknarinnar og velja efni sem jafnvægi kostnaðar, frammistöðu og áreiðanleika.
Pósttími: 19. mars 2024