Í háþróaðri framleiðslu og nýjustu vísindarannsóknum er nákvæmur, stöðugur loftþrýstingshreyfipallur lykilbúnaður til að ná fram afar nákvæmri notkun. Nákvæmnigrunnur úr graníti er kjarninn í stuðningi pallsins og afköst hans eru nátengd vinnuumhverfinu. Að skilja og uppfylla þessar umhverfiskröfur getur ekki aðeins tryggt nákvæma notkun pallsins, heldur einnig mikilvægur þáttur í að auka samkeppnishæfni fyrirtækisins á skyldum sviðum, sem lýst er nánar hér að neðan.
1. Hitastig: nákvæm stjórnun til að tryggja víddarstöðugleika
Þótt granít sé þekkt fyrir stöðugleika sinn, er varmaþenslustuðull þess ekki núll og litlar hitabreytingar geta samt haft áhrif á víddarnákvæmni þess. Almennt séð er varmaþenslustuðull graníts 5-7 × 10⁻⁶/℃. Í notkunarsviði nákvæms kyrrstöðuþrýstingslofts fljótandi hreyfipalls, magnast þessi smávægilega breyting af pallinum, sem getur leitt til frávika í nákvæmni hreyfingarinnar. Til dæmis, í framleiðsluferli hálfleiðaraflísar, þar sem kröfur um staðsetningarnákvæmni eru danami-stig, getur sveifla umhverfishita um 1°C, og hliðarlengd granítgrunns á 1 metra getur valdið 5-7 míkron af línulegri þenslu eða samdrætti, sem er nóg til að valda fráviki í litmyndunarmynstri flísarinnar og draga úr afköstum. Þess vegna ætti kjörhitastig vinnuumhverfisins fyrir nákvæman kyrrstöðuþrýstingslofts fljótandi pall með nákvæmni granítgrunns að vera stranglega stjórnað við 20°C ±1°C. Fyrirtæki geta sett upp nákvæmt loftkælingarkerfi með stöðugu hitastigi, fylgst stöðugt með og stillt umhverfishita nákvæmlega, viðhaldið stöðugleika stærðar granítgrunnsins og tryggt að pallurinn virki með mikilli nákvæmni.
2. raki: sanngjörn stjórn, vernda grunnframmistöðu
Rakastig hefur einnig mikil áhrif á nákvæma granítgrunna. Í umhverfi með miklum raka á granít auðvelt með að taka í sig vatnsgufu og það getur myndast þétting á yfirborðinu, sem ekki aðeins truflar eðlilega virkni loftfljótunarkerfisins, heldur leiðir einnig til langtíma rofs á granítyfirborðinu og dregur úr nákvæmni þess og endingartíma. Sem dæmi um slípun á ljósleiðurum, ef rakastigið er hærra en 60% RH í langan tíma, mun vatnsgufan sem safnast fyrir á yfirborði granítgrunnsins eyðileggja einsleitni loftfljótunarfilmunnar, sem leiðir til minnkaðrar nákvæmni slípunarinnar og yfirborðsgalla. Þess vegna þarf að stjórna rakastigi vinnuumhverfisins á milli 40%-60% RH. Fyrirtæki geta notað rakatæki, rakaskynjara og annan búnað til að fylgjast með og stjórna rakastiginu í rauntíma, skapa viðeigandi rakastigsumhverfi fyrir nákvæma granítgrunninn og tryggja stöðugan rekstur nákvæmrar kyrrstöðuþrýstingsloftfljótandi hreyfingarpallsins.
3. hreinlæti: strangt eftirlit, útrýma truflunum á ögnum
Rykorn eru „óvinur“ nákvæms, stöðugs loftþrýstings fljótandi hreyfipalla og valda miklu tjóni á granítgrunninum. Þegar smáar agnir komast inn í gasfilmuna milli gasfljótandi rennibrautarinnar og granítgrunnsins geta þær eyðilagt einsleitni gasfilmunnar, aukið núning og jafnvel rispað yfirborð grunnsins, sem hefur alvarleg áhrif á nákvæmni hreyfingar pallsins. Í nákvæmnisvinnsluverkstæði fyrir flug- og geimhluta, ef rykagnir úr loftinu falla á granítgrunninn, getur hreyfingarferill vinnslutólsins breyst, sem hefur áhrif á nákvæmni hlutanna. Þess vegna ætti að halda vinnusvæðinu mjög hreinu og ná hreinleikastaðli 10.000 eða jafnvel hærri. Fyrirtæki geta síað rykagnir úr loftinu með því að setja upp hágæða loftsíur (HEPA) og krefjast þess að starfsfólk klæðist ryklausum fötum, skóhlífum o.s.frv. til að draga úr ryki frá mönnum og viðhalda nákvæmu rekstrarumhverfi granítgrunnsins og nákvæms stöðugs loftþrýstings fljótandi hreyfipalla.
4. Titringur: Áhrifarík einangrun til að skapa slétt rými
Ytri titringur mun alvarlega trufla nákvæmni nákvæmnis stöðuþrýstingslofts fljótandi pallsins, þó að nákvæmni granítgrunnurinn hafi ákveðna titringsdeyfingargetu, en mikill titringur getur samt sem áður brotið niður biðminnimörk þess. Titringurinn sem myndast af umferð í kringum verksmiðjuna og rekstri stórra vélbúnaðar berst til granítgrunnsins í gegnum jörðina, sem mun trufla nákvæmni hreyfingar pallsins. Í hágæða CMM getur titringur valdið því að snerting milli mælisnúru og vinnustykkisins sem á að mæla verður óstöðug, sem leiðir til frávika í mæligögnunum. Til að leysa þetta vandamál er nauðsynlegt að grípa til árangursríkra titringseinangrunarráðstafana, svo sem að leggja titringseinangrunarpúða á uppsetningarsvæði búnaðarins, byggja titringseinangrunargrunn eða nota virkt titringseinangrunarkerfi til að vega virkan upp á móti ytri titringi og skapa rólegt og stöðugt vinnuumhverfi fyrir nákvæmni granítgrunninn og nákvæmni stöðuþrýstingslofts fljótandi pallinn.
Til að nýta kosti nákvæmni granítgrunns til fulls í nákvæmum kyrrstöðuþrýstingsloftflötum, er uppfyllt ofangreindar umhverfiskröfur, til að tryggja að pallurinn veiti mikla nákvæmni og stöðugleika hreyfistýringarþjónustu fyrir ýmsar atvinnugreinar. Ef fyrirtæki geta veitt þessum upplýsingum gaum í framleiðsluumhverfinu munu þau grípa tækifærið í nákvæmri framleiðslu, vísindarannsóknum og öðrum sviðum, auka samkeppnishæfni sína og ná sjálfbærri þróun.
Birtingartími: 10. apríl 2025