Framleiðsla hálfleiðara: Í framleiðsluferli örgjörva þarf ljósritunarferlið að flytja rafrásarmynstrið nákvæmlega yfir á skífuna. Granítgrunnur einsásar loftfljótandi öfgakenndrar hreyfieiningar getur veitt nákvæma staðsetningu og stöðugan stuðning fyrir skífuborðið í litritunarbúnaðinum. Til dæmis nota ASML og aðrir alþjóðlega þekktir framleiðendur litritunarvéla granítgrunna loftfljótandi hreyfieiningar í háþróaðri búnaði sínum, sem geta stjórnað staðsetningarnákvæmni skífunnar á nanómetrastigi til að tryggja nákvæmni litritunarmynstrsins og þannig bætt samþættingu og afköst örgjörvans.
Nákvæmnismælingarsvið: CMM er nákvæmur mælibúnaður sem er almennt notaður í iðnaðarframleiðslu og er notaður til að mæla stærð, lögun og staðsetningarnákvæmni vinnustykkisins. Hægt er að nota afar nákvæma hreyfieiningu eins ás loftflotans á granítgrunni sem hreyfipall fyrir CMM, sem getur framkvæmt mjög nákvæma línulega hreyfingu og veitt stöðuga hreyfibraut fyrir mæliprófarann. Til dæmis notar hágæða CMM frá Hexagon þessa samsetningu til að mæla stóra og flókna hluti með mælinákvæmni allt að míkronstigi, sem veitir sterka ábyrgð á gæðaeftirliti hluta í bílaiðnaði, flug- og geimferðaiðnaði og öðrum atvinnugreinum.
Flug- og geimferðasvið: Við vinnslu og prófun á flugvélahlutum er krafist mikillar nákvæmni. Til dæmis krefst vinnsla á flugvélahreyflablöðum nákvæmrar stjórnunar á hreyfibraut verkfærisins til að tryggja nákvæmni blaðsniðsins. Granítgrunnur einsás loftfljótandi öfgakenndrar hreyfieiningar er hægt að nota á fimmása vinnslumiðstöðvar og annan búnað til að veita nákvæma hreyfistjórnun fyrir verkfærið og tryggja að vinnslunákvæmni blaðsins geti uppfyllt hönnunarkröfur. Á sama tíma, í samsetningarferli flugvélarinnar, er einnig nauðsynlegt að nota nákvæman mælibúnað til að greina samsetningarnákvæmni hlutanna. Loftfljótandi hreyfieining granítgrunnsins getur veitt stöðugan stuðning og nákvæma hreyfingu fyrir mælibúnaðinn til að tryggja gæði samsetningarinnar.
Sjónskoðunarsvið: Í framleiðslu og prófunarferli sjóntækja er nauðsynlegt að framkvæma nákvæma staðsetningu og mælingu á sjóntækjahlutum. Til dæmis, þegar framleiddir eru nákvæmir sjóntækjahlutir eins og speglar og linsur, er nauðsynlegt að nota truflunarmæla og annan búnað til að greina nákvæmni yfirborðslögunar. Granítgrunnur einsásar loftfljótandi öfgakenndrar hreyfieiningar er hægt að nota sem hreyfipall fyrir truflunarmælinn, sem getur náð nákvæmni staðsetningar á undir-míkron og veitt nákvæman gagnagrunn til að greina sjóntækjahluti. Að auki er einnig nauðsynlegt að nota nákvæman hreyfipall í leysigeislavinnslubúnaði til að stjórna skönnunarbraut leysigeislans. Granítgrunnur loftfljótandi hreyfieiningarinnar getur uppfyllt þessa kröfu til að ná nákvæmri leysivinnslu.
Birtingartími: 7. apríl 2025