Granít er tegund af hörðu bergi sem hefur orðið ómissandi efni í hálfleiðaraiðnaðinum. Eiginleikar þess gera það kleift að þola hátt hitastig, sem gerir það tilvalið til notkunar á ýmsum stigum framleiðsluferla hálfleiðara. Fyrir vikið hefur granítsamsetning fundið víðtæk notkunarsvið í framleiðsluferlum fyrir hálfleiðara.
Ein algengasta notkun granítsamsetningar er smíði nákvæmra vélaverkfæra. Stífleiki og stöðugleiki granítsins gerir það mögulegt að framleiða nákvæm og nákvæm verkfæri með litlum eða engum aflögunum. Þessi nákvæmni er nauðsynleg í framleiðsluferlum hálfleiðara eins og jónígræðslu, þar sem geislinn verður að vera nákvæmlega beint á skífuna.
Önnur notkun á granítsamsetningu í framleiðslu hálfleiðara er í smíði mælitækja. Mælitæki eru mikilvæg í framleiðsluferlum hálfleiðara þar sem þau mæla og staðfesta nákvæmni tækja sem eru framleidd. Víddarstöðugleiki graníts, lítil hitaþensla og framúrskarandi titringsdeyfandi eiginleikar gera það að kjörnu efni í smíði mælitækja. Þetta felur í sér stór granítflöt sem notuð eru við uppsetningu og skoðun á skífum.
Ljósborð eru enn eitt svið þar sem granítsamsetning er mikið notuð í hálfleiðaraiðnaðinum. Ljósborð eru notuð við prófanir á ljóstækjum eins og bylgjuleiðurum fyrir gagnasamskipti. Flatleiki graníts, lítil hitauppþensla, mikill stífleiki og vélrænn stöðugleiki gera því kleift að veita mjög stöðugt yfirborð fyrir uppsetningu og staðsetningu ljóstækja. Granít ljósborð geta veitt stöðugleika og stífleika sem þarf til að framkvæma nákvæmar prófanir á ljóstækjum.
Granít er einnig notað í smíði á skífuspennum og -þrepum. Í framleiðsluferli hálfleiðara er nákvæm röðun og staðsetningarstýring mikilvæg. Skífuspennur, sem halda skífunum á sínum stað meðan á vinnslu stendur, verða að viðhalda nákvæmni staðsetningar en þola jafnframt hátt hitastig og lofttæmi. Granít hefur framúrskarandi víddarstöðugleika yfir breitt hitastigsbil og þolir lofttæmi, sem gerir það tilvalið fyrir smíði á skífuspennum. Þrep sem notuð eru við flutning skífa frá einni staðsetningu til annarrar fara í gegnum hringrásaröð hreyfinga í framleiðsluferli hálfleiðara. Samsetning graníts veitir stöðugleika og endingu sem þarf til að þola samfelldar og endurteknar hringrásir hreyfinga.
Í stuttu máli má segja að notkun graníts í hálfleiðaraframleiðsluiðnaðinum sé mikil. Eiginleikar þess, svo sem víddarstöðugleiki, lítil hitauppþensla, mikil stífleiki og titringsdeyfing, gera það að kjörnu efni til notkunar á ýmsum stigum framleiðsluferla hálfleiðara. Frá smíði nákvæmra véla og mælitækja til ljósleiðaraborða og skífustiga og spennubúnaðar, gegna eiginleikar graníts lykilhlutverki í að veita stöðugleika, nákvæmni og endurtekningarhæfni sem nauðsynleg er til að ná fram hágæða framleiðslu á hálfleiðurum.
Birtingartími: 6. des. 2023