Í hálfleiðaraiðnaðinum er skoðun á skífum lykilatriði til að tryggja gæði og afköst flísarinnar, og nákvæmni og stöðugleiki skoðunarborðsins gegna lykilhlutverki í niðurstöðum greiningarinnar. Granítgrunnur með einstökum eiginleikum sínum verður kjörinn kostur fyrir skoðunarborð fyrir hálfleiðaraskífur, eftirfarandi frá fjölvíddargreiningu fyrir þig.
Í fyrsta lagi, nákvæmniábyrgðarvíddin
1. Mjög mikil flatneskja og beinnleiki: Granítgrunnurinn er unninn með háþróaðri vinnslutækni og flatneskjan getur náð ±0,001 mm/m eða jafnvel meiri nákvæmni og beinnleikinn er einnig framúrskarandi. Í skoðunarferlinu á skífunni veitir nákvæmniplanið stöðugan stuðning fyrir skífuna og tryggir nákvæma snertingu milli rannsakanda skoðunarbúnaðarins og lóðtenginganna á yfirborði skífunnar.
2. Mjög lágur varmaþenslustuðull: Framleiðsla hálfleiðara er viðkvæm fyrir hitabreytingum og varmaþenslustuðull graníts er afar lágur, venjulega um 5 × 10⁻⁶/℃. Þegar greiningarpallurinn er í gangi, jafnvel þótt umhverfishitastig sveiflist, breytist stærð granítgrunnsins mjög lítið. Til dæmis, í háhitaverkstæði á sumrin, getur hitastig greiningarpallsins sem byggir á venjulegum málmgrunni valdið því að hlutfallsleg staða skífunnar og greiningarbúnaðarins færist til, sem hefur áhrif á nákvæmni greiningarinnar; greiningarpallurinn fyrir granítgrunn getur viðhaldið stöðugleika, tryggt hlutfallslega nákvæmni skífunnar og greiningarbúnaðarins meðan á greiningarferlinu stendur og veitt stöðugt umhverfi fyrir nákvæma greiningu.
Í öðru lagi, stöðugleikavídd
1. Stöðug uppbygging og titringsþol: Granít hefur verið innra með sér þétta og einsleita innri uppbyggingu eftir milljónir ára jarðfræðilegra ferla. Í flóknu umhverfi hálfleiðaraverksmiðju er titringurinn sem myndast við notkun jaðarbúnaðar og starfsfólks sem gengur um, mildaður á áhrifaríkan hátt af granítgrunninum.
2. Nákvæmni við langtímanotkun: Granít hefur mikla hörku, sterka slitþol og Mohs hörku getur náð 6-7 miðað við önnur efni. Yfirborð granítgrunnsins slitnar ekki auðveldlega við tíðar hleðslu, affermingu og skoðun á skífum. Samkvæmt raunverulegri notkun tölfræðilegrar gagna er hægt að viðhalda nákvæmni flatneskju og beinnleika við meira en 98% af upphaflegri nákvæmni eftir samfellda notkun eftir 5000 klukkustundir, sem dregur úr sliti á grunninum vegna reglulegrar kvörðunar- og viðhaldstíma búnaðarins, dregur úr rekstrarkostnaði fyrirtækisins og tryggir langtímastöðugleika prófunarvinnu.
Í þriðja lagi, hrein og truflunarvörn
1. Lítil rykmyndun: Framleiðsluumhverfi hálfleiðara þarf að vera mjög hreint og granítefnið sjálft er stöðugt og ekki auðvelt að mynda rykagnir. Við notkun prófunarpallsins er komið í veg fyrir að ryk sem myndast við grunninn mengi skífuna og hætta á skammhlaupi og opnu rás af völdum rykagna er minnkuð. Í skoðunarsvæði skífunnar í ryklausu verkstæðinu er rykþéttni í kringum skoðunarborð granítgrunnsins alltaf stýrt á afar lágt stig, sem uppfyllir strangar hreinlætiskröfur hálfleiðaraiðnaðarins.
2. Engin segultruflun: Greiningarbúnaðurinn er viðkvæmur fyrir rafsegulfræðilegu umhverfi og granít er ósegulmagnað efni sem truflar ekki rafeindamerki greiningarbúnaðarins. Við notkun rafeindageislagreiningar og annarra prófunartækni sem krefjast mjög mikils rafsegulfræðilegs umhverfis tryggir granítgrunnurinn stöðuga sendingu rafeindamerkja greiningarbúnaðarins og tryggir nákvæmni prófunarniðurstaðna. Til dæmis, þegar nákvæmni rafmagnsafköst skífunnar er prófuð, forðast ósegulmagnaði granítgrunnurinn truflanir á straum- og spennumerki greiningarbúnaðarins, þannig að greiningargögnin endurspegla raunverulega rafeiginleika skífunnar.
Birtingartími: 31. mars 2025