1. Víddarnákvæmni
Flatleiki: Flatleiki yfirborðs botnsins ætti að vera mjög hár og flatleikisvillan ætti ekki að fara yfir ±0,5 μm á neinu 100 mm × 100 mm svæði; Fyrir allt botnflötinn er flatleikisvillan stjórnað innan ±1 μm. Þetta tryggir að lykilþættir hálfleiðarabúnaðar, svo sem ljósopshaus litografíubúnaðarins og mæliborð flísgreiningarbúnaðarins, geti verið stöðugt settir upp og rekist á nákvæmu plani, tryggir nákvæmni ljósleiðar og rafrásartengingar búnaðarins og kemur í veg fyrir frávik í tilfærslu íhluta af völdum ójafns botnflötarins, sem hefur áhrif á framleiðslu og nákvæmni greiningar hálfleiðaraflísanna.
Beinleiki: Beinleiki hverrar brúnar botnsins er afar mikilvægur. Í lengdarstefnu skal beinleikavillan ekki vera meiri en ±1μm á 1m; Skálínubeinleikavillan er stýrt innan ±1,5μm. Sem dæmi um nákvæma steinolíuvél, þegar borðið færist eftir leiðarlínu botnsins, hefur beinleiki brúnar botnsins bein áhrif á nákvæmni borðsins. Ef beinleikinn er ekki nægilega góður mun steinolíumynstrið aflagast og afmyndast, sem leiðir til minnkaðrar framleiðslugetu flísanna.
Samsíða: Samsíðavillan á efri og neðri yfirborði botnsins ætti að vera stjórnað innan ±1 μm. Góð samsíða getur tryggt stöðugleika heildarþyngdarpunktsins eftir uppsetningu búnaðarins og að kraftur hvers íhlutar sé jafn. Í framleiðslubúnaði fyrir hálfleiðaraskífur, ef efri og neðri yfirborð botnsins eru ekki samsíða, mun skífan halla sér við vinnslu, sem hefur áhrif á einsleitni ferlisins eins og etsun og húðun og þar með áhrif á samræmi flísafköstanna.
Í öðru lagi, efnisleg einkenni
Hörku: Hörku granítgrunnefnisins ætti að ná Shore hörku HS70 eða hærri. Mikil hörku getur á áhrifaríkan hátt staðist slit sem stafar af tíðum hreyfingum og núningi íhluta við notkun búnaðarins, sem tryggir að grunnurinn geti viðhaldið mikilli nákvæmni stærðar eftir langtíma notkun. Í flísapökkunarbúnaði grípur vélmenniarmurinn oft flísina og setur hana á grunninn og mikil hörku grunnsins getur tryggt að yfirborðið rispist ekki auðveldlega og viðhaldið nákvæmni hreyfingar vélmenniarmsins.
Þéttleiki: Efnisþéttleiki ætti að vera á bilinu 2,6-3,1 g/cm³. Viðeigandi þéttleiki tryggir góðan stöðugleika í botninum, sem getur tryggt nægilega stífleika til að styðja við búnaðinn og mun ekki valda erfiðleikum við uppsetningu og flutning búnaðarins vegna of mikillar þyngdar. Í stórum skoðunarbúnaði fyrir hálfleiðara hjálpar stöðugur botnþéttleiki til að draga úr titringsflutningi við notkun búnaðarins og bæta nákvæmni greiningarinnar.
Hitastöðugleiki: línuleg útvíkkunarstuðull er minni en 5 × 10⁻⁶/℃. Hálfleiðarabúnaður er mjög viðkvæmur fyrir hitabreytingum og hitastöðugleiki botnsins er í beinu samhengi við nákvæmni búnaðarins. Í steinolíuvinnslu geta hitasveiflur valdið útvíkkun eða samdrætti botnsins, sem leiðir til frávika í stærð útsetningarmynstursins. Granítbotninn með lágan línulegan útvíkkunarstuðul getur stjórnað stærðarbreytingunni á mjög litlu bili þegar rekstrarhiti búnaðarins breytist (almennt 20-30 °C) til að tryggja nákvæmni steinolíuvinnslunnar.
Í þriðja lagi, yfirborðsgæði
Hrjúfleiki: Ra-gildi yfirborðshrjúfleikans á botninum fer ekki yfir 0,05 μm. Mjög slétt yfirborð getur dregið úr ryksogi og óhreinindum og dregið úr áhrifum á hreinleika í framleiðsluumhverfi hálfleiðaraflísanna. Í ryklausum verkstæði flísframleiðslu geta smáar agnir leitt til galla eins og skammhlaups í flísinni, og slétt yfirborð botnsins hjálpar til við að viðhalda hreinu umhverfi verkstæðisins og bæta flísafköst.
Smásjárgallar: Yfirborð botnsins má ekki hafa neinar sýnilegar sprungur, sandholur, svitaholur eða aðra galla. Í smásjá skal fjöldi galla með þvermál meira en 1 μm á fersentímetra ekki vera meiri en 3 samkvæmt rafeindasmásjá. Þessir gallar munu hafa áhrif á burðarþol og flatleika yfirborðsins og síðan hafa áhrif á stöðugleika og nákvæmni búnaðarins.
Í fjórða lagi, stöðugleiki og höggþol
Dynamísk stöðugleiki: Í hermdu titringsumhverfi sem myndast við notkun hálfleiðarabúnaðar (titringstíðnibil 10-1000Hz, sveifluvídd 0,01-0,1mm) ætti að stjórna titringsfærslu lykilfestingapunkta á botninum innan ±0,05μm. Ef við tökum prófunarbúnað fyrir hálfleiðara sem dæmi, ef eigin titringur tækisins og titringur frá umhverfinu berast til botnsins meðan á notkun stendur, getur nákvæmni prófunarmerkisins raskast. Góður dynamic stöðugleiki getur tryggt áreiðanlegar prófunarniðurstöður.
Jarðskjálftaþol: Grunnurinn verður að hafa framúrskarandi jarðskjálftaafköst og geta dregið hratt úr titringsorkunni þegar hann verður fyrir skyndilegum utanaðkomandi titringi (eins og titringi í jarðskjálftabylgjulíkani) og tryggt að hlutfallsleg staða lykilþátta búnaðarins breytist innan ± 0,1 μm. Í hálfleiðaraverksmiðjum á svæðum þar sem jarðskjálftar eru viðkvæmir geta jarðskjálftaþolnir grunnar verndað dýran hálfleiðarabúnað á áhrifaríkan hátt og dregið úr hættu á skemmdum á búnaði og framleiðslutruflunum vegna titrings.
5. Efnafræðilegur stöðugleiki
Tæringarþol: Granítgrunnurinn ætti að þola tæringu af völdum algengra efna í framleiðsluferli hálfleiðara, svo sem flúorsýru, kóngavatns o.s.frv. Eftir að hafa verið lagður í flúorsýrulausn með massahlutfalli upp á 40% í 24 klukkustundir skal tap á yfirborðsgæði ekki fara yfir 0,01%; ef grunnurinn er lagður í kóngavatn (rúmmálshlutfall saltsýru og saltpéturssýru 3:1) í 12 klukkustundir skal engin augljós ummerki um tæringu sjást á yfirborðinu. Framleiðsluferlið fyrir hálfleiðara felur í sér fjölbreytt efnaetsunar- og hreinsunarferli og góð tæringarþol grunnsins getur tryggt að langtímanotkun í efnafræðilegu umhverfi skemmist ekki og nákvæmni og uppbyggingarheilleiki viðhaldist.
Mengunarvörn: Grunnefnið hefur afar litla upptöku á algengum mengunarefnum í framleiðsluumhverfi hálfleiðara, svo sem lífrænum lofttegundum, málmjónum o.s.frv. Þegar það er sett í umhverfi sem inniheldur 10 ppm af lífrænum lofttegundum (t.d. bensen, tólúen) og 1 ppm af málmjónum (t.d. koparjónum, járnjónum) í 72 klukkustundir, er breytingin á afköstum vegna aðsogs mengunarefna á grunnyfirborðið hverfandi. Þetta kemur í veg fyrir að mengunarefni berist frá grunnyfirborðinu yfir á framleiðslusvæðið og hafi áhrif á gæði flísarinnar.
Birtingartími: 28. mars 2025