Granítbeð er mikilvægur hluti í ýmsum hálfleiðaratækjum.Sem mjög stöðugt og stíft efni er granít mikið notað sem grunnur fyrir hálfleiðaravinnslubúnað.Það einkennist af lágum varmaþenslustuðli, miklum víddarstöðugleika og framúrskarandi vélrænni eiginleikum.Vegna þessara eiginleika er granítbeð oftast notað í þremur mismunandi gerðum hálfleiðaratækja - mælifræðibúnaði, steinþrykkbúnaði og skoðunarbúnaði.
Mælifræðibúnaður er notaður til að mæla og greina mikilvægar stærðir hálfleiðaratækjanna.Það gegnir mikilvægu hlutverki við að viðhalda gæðum og samkvæmni í framleiðsluferli hálfleiðara.Mælifræðibúnaður inniheldur tæki eins og sjónsmásjár, rafeindasmásjár og atómkraftsmásjár (AFM).Þar sem frammistaða þessara mælitækja fer eftir stöðugleika þeirra, nákvæmni og titringsþol, er granít kjörinn kostur fyrir rúmefni þeirra.Einsleitni og stöðugleiki granítbeðsins veitir stöðugan vettvang fyrir hljóðfærin, sem eykur nákvæmni þeirra og áreiðanleika.
Lithography búnaður er notaður til að búa til örflögumynstrið á oblátunni.Lithography ferlið krefst mikillar nákvæmni og nákvæmni til að búa til flóknar hringrásir og bæta flísafköst.Lithography búnaðurinn inniheldur stepper og skannakerfi sem nota ljós til að flytja myndir á oblátuna.Þar sem steinþrykkjaferlið er mjög viðkvæmt fyrir titringi og hitabreytingum, er hágæða rúm nauðsynlegt til að tryggja stöðugleika og endurtekningarhæfni steinþrykkjaferlisins.Granítbeð veita nauðsynlegan stöðugleika og ströngan titringsdempun fyrir steinþrykkkerfi.Granít rúmið gerir stepper eða skanna kerfinu kleift að viðhalda nákvæmum staðbundnum tengslum sem tryggja mikla nákvæmni og endanleg vörugæði.
Skoðunarbúnaður er notaður til að greina galla í hálfleiðaratækjunum.Skoðunarbúnaður inniheldur kerfi eins og leysismásjár, rafeindasmásjár og sjónsmásjár.Þar sem þessi tæki þurfa að vera mjög nákvæm, stöðug og titringsþolin eru granítbeðin hið fullkomna efni.Vélrænni eiginleikar graníts og víddarstöðugleiki hjálpa til við titringseinangrun, sem eykur nákvæmni úttaks skoðunarbúnaðarins.
Að lokum er granítbeð mikilvægt fyrir hálfleiðaraiðnaðinn og er mikið notað í mismunandi gerðir búnaðar.Einstakir eiginleikar þess eins og víddarstöðugleiki, lágur varmaþenslustuðull og framúrskarandi vélrænni stöðugleiki gera granít að kjörnum vali fyrir rúmefni hálfleiðarabúnaðar.Þar sem hágæða granítbeðið veitir nauðsynlegan stöðugleika, nákvæmni og titringsþol fyrir hálfleiðarabúnaðinn, bætir það að lokum gæði lokaafurðarinnar.Þess vegna mun notkun granítbeðs í hálfleiðarabúnaði örugglega halda áfram um ókomin ár.
Pósttími: Apr-03-2024