Granítefni eru mikið notuð í hálfleiðaraiðnaðinum vegna framúrskarandi eiginleika þeirra, svo sem mikils stöðugleika, lítillar hitauppstreymis og mikillar tæringarþols.Þessir eiginleikar gera granít tilvalið efni til að byggja hánákvæmni íhluti í oblátuflutningskerfi.
Í hálfleiðara framleiðsluferlinu gegnir oblátuflutningskerfið mikilvægu hlutverki við að flytja oblátur yfir mismunandi stig framleiðsluferlisins.Nákvæmni og nákvæmni eru grunnkröfur fyrir þessi kerfi þar sem jafnvel smávægileg frávik gætu stofnað öllu ferlinu í hættu.Þess vegna verða íhlutir í oblátaflutningskerfinu að vera úr hágæða efnum og granít uppfyllir þau skilyrði.
Sumir hlutar oblátaflutningskerfisins sem eru gerðir úr granítefnum eru:
1. Vacuum Chuck borð
Vacuum chuck borðið er notað til að halda oblátunni meðan á ferlinu stendur og það verður að hafa stöðugt yfirborð til að tryggja að oblátið sé ekki skemmt.Granít er tilvalið efni til að búa til þetta borð vegna þess að það hefur flatt, ekki porous yfirborð sem veitir mikinn stöðugleika og nákvæmni.Að auki hefur granít lágan varmaþenslustuðul, sem gerir það ónæmt fyrir hitabreytingum sem gætu valdið víddarbreytingum í skífunni.
2. Air-Bearing Stage
Loftburðarstigið er notað til að flytja oblátuna í gegnum mismunandi stig framleiðsluferlisins.Sviðið er hannað til að veita núningslausa hreyfingu, sem krefst mikillar nákvæmni og stöðugleika.Granít er notað í þessu forriti vegna þess að það er stífur og harður steinn og þolir aflögun og slit með tímanum.
3. Línulegar hreyfingarleiðbeiningar
Línulegu hreyfistýringarnar eru notaðar til að stýra loftburðarstiginu og þær verða að vera nákvæmlega staðsettar til að lágmarka villur.Granít er notað til að byggja þessa handbók vegna þess að það hefur framúrskarandi vélrænan stöðugleika og styrk.Efnið er einnig tæringarþolið sem tryggir endingu stýrikerfisins.
4. Mælafræðibúnaður
Mælifræðibúnaður er notaður til að mæla stærð og eiginleika skífunnar meðan á framleiðsluferlinu stendur.Granít er tilvalið efni til að byggja þennan búnað vegna þess að það hefur mikla stífleika, litla þenslu og lágmarks aflögun undir álagi.Þar að auki tryggir varmastöðugleiki granítsins að mælifræðibúnaðurinn haldist stöðugur og nákvæmur með tímanum.
Að lokum treystir hálfleiðaraiðnaðurinn á nákvæmni og nákvæmni og granítefni hafa reynst mjög áreiðanleg og stöðug í framleiðsluferlinu.Þar sem margir mikilvægir hlutir í oblátaflutningskerfinu krefjast mikillar stöðugleika, nákvæmni og lítillar varmaþenslu, hafa verkfræðingar snúið sér að granítefnum til að uppfylla þessar mikilvægu kröfur.
Pósttími: 19. mars 2024