Granítefni eru mikið notuð í hálfleiðaraiðnaðinum vegna framúrskarandi einkenna þeirra, svo sem mikill stöðugleiki, lítil hitauppstreymi og mikil viðnám gegn tæringu. Þessir eiginleikar gera granít að kjörnu efni til að byggja upp háa nákvæmni íhluta í flísaflutningskerfi.
Í framleiðsluferli hálfleiðara gegnir Wafer Transfer System mikilvægu hlutverki við að flytja skífur yfir mismunandi stig framleiðsluferlisins. Nákvæmni og nákvæmni eru nauðsynlegar kröfur fyrir þessi kerfi þar sem jafnvel lítil frávik gætu teflt öllu ferlinu í hættu. Þess vegna verður að búa til íhluta í flutningskerfinu úr hágæða efni og granít uppfyllir þessi skilyrði.
Sumir hlutar af flutningskerfinu sem eru gerðir úr granítefnum eru meðal annars:
1. tómarúm chuck borð
Tómarúm Chuck borðið er notað til að halda skífunni meðan á ferlinu stendur og það verður að hafa stöðugt yfirborð til að tryggja að skífan sé ekki skemmd. Granít er kjörið efni til að búa til þetta borð vegna þess að það er með flatt, ekki porous yfirborð sem veitir mikla stöðugleika og nákvæmni. Að auki hefur granít lágur stuðull hitauppstreymis, sem gerir það ónæmt fyrir hitastigsbreytingum sem gætu valdið víddarbreytingum á skífunni.
2. Loftberandi stig
Loftbera stigið er notað til að flytja skífuna í gegnum mismunandi stig framleiðsluferlisins. Stigið er hannað til að veita núningslaus hreyfingu, sem krefst mikillar nákvæmni og stöðugleika. Granít er notað í þessu forriti vegna þess að það er stífur og harður steinn og það standast aflögun og slit með tímanum.
3. Línulegar hreyfingarleiðbeiningar
Línulegu hreyfingarleiðbeiningarnar eru notaðar til að leiðbeina loftberandi stiginu og þær verða að vera nákvæmlega staðsettar til að lágmarka villur. Granít er notað til að smíða þessa handbók vegna þess að hún hefur framúrskarandi vélrænan stöðugleika og styrk. Efnið er einnig tæringarþolið, sem tryggir langlífi leiðsögukerfisins.
4.. Metrology búnaður
Metrology búnaður er notaður til að mæla stærð og eiginleika skífunnar meðan á framleiðsluferlinu stendur. Granít er kjörið efni til að smíða þennan búnað vegna þess að hann hefur mikla stífni, litla stækkun og lágmarks aflögun undir álagi. Ennfremur tryggir hitauppstreymi granít að mæligildisbúnaðurinn er áfram stöðugur og nákvæmur með tímanum.
Að lokum treystir hálfleiðaraiðnaðurinn á nákvæmni og nákvæmni og granítefni hafa reynst mjög áreiðanlegt og stöðugt í framleiðsluferlinu. Með mörgum mikilvægum íhlutum í flutningskerfinu sem krefst mikils stöðugleika, nákvæmni og lítillar hitauppstreymis hafa verkfræðingar snúið sér að granítefnum til að uppfylla þessar mikilvægu kröfur.
Post Time: Mar-19-2024