Granítefni eru mikið notuð í hálfleiðaraiðnaðinum vegna framúrskarandi eiginleika þeirra, svo sem mikils stöðugleika, lítillar varmaþenslu og mikillar tæringarþols. Þessir eiginleikar gera granít að kjörnu efni til að smíða nákvæma íhluti í skífuflutningskerfum.
Í framleiðsluferli hálfleiðara gegnir flutningskerfi skífna lykilhlutverki við flutning skífna á milli mismunandi stiga framleiðsluferlisins. Nákvæmni og nákvæmni eru grunnkröfur fyrir þessi kerfi þar sem jafnvel smávægileg frávik geta sett allt ferlið í hættu. Þess vegna verða íhlutir í flutningskerfi skífna að vera úr hágæða efnum og granít uppfyllir þessi skilyrði.
Sumir hlutar flutningskerfisins fyrir skífur sem eru úr granítefnum eru meðal annars:
1. Tómarúmsspennuborð
Lofttæmisspennuborðið er notað til að halda skífunni á meðan á ferlinu stendur og það verður að hafa stöðugt yfirborð til að tryggja að skífan skemmist ekki. Granít er kjörið efni til að búa til þetta borð því það hefur flatt, ógegndræpt yfirborð sem veitir mikla stöðugleika og nákvæmni. Að auki hefur granít lágan varmaþenslustuðul, sem gerir það ónæmt fyrir hitabreytingum sem gætu valdið víddarbreytingum á skífunni.
2. Loftberandi stig
Loftflutningsstigið er notað til að flytja skífuna í gegnum mismunandi stig framleiðsluferlisins. Stigið er hannað til að veita núninglausa hreyfingu, sem krefst mikillar nákvæmni og stöðugleika. Granít er notað í þessu forriti vegna þess að það er stífur og harður steinn og hann þolir aflögun og slit með tímanum.
3. Línulegar hreyfingarleiðbeiningar
Línulegu hreyfileiðararnir eru notaðir til að stýra loftberandi stigi og þeir verða að vera nákvæmlega staðsettir til að lágmarka villur. Granít er notað til að smíða þessa leiðara vegna þess að hann hefur framúrskarandi vélrænan stöðugleika og styrk. Efnið er einnig tæringarþolið, sem tryggir langlífi leiðarakerfisins.
4. Mælitæki
Mælitæki eru notuð til að mæla stærðir og eiginleika skífunnar í framleiðsluferlinu. Granít er kjörið efni til að smíða þennan búnað vegna þess að hann hefur mikla stífleika, litla útþenslu og lágmarks aflögun við álag. Þar að auki tryggir hitastöðugleiki graníts að mælitækið haldist stöðugt og nákvæmt með tímanum.
Að lokum má segja að hálfleiðaraiðnaðurinn reiðir sig á nákvæmni og nákvæmni, og granítefni hafa reynst mjög áreiðanleg og stöðug í framleiðsluferlinu. Þar sem margir mikilvægir íhlutir í flutningskerfi fyrir skífur krefjast mikils stöðugleika, nákvæmni og lítillar varmaþenslu, hafa verkfræðingar snúið sér að granítefnum til að uppfylla þessar mikilvægu kröfur.
Birtingartími: 19. mars 2024