Hvernig á að nota granítíhluti fyrir framleiðsluferli hálfleiðara?

Granít er erfitt og endingargott efni sem oft er notað í byggingariðnaðinum. Hins vegar hefur það einnig eiginleika sem gera það gagnlegt við framleiðslu hálfleiðara, sérstaklega við framleiðslu og vinnslu samþættra hringrásar. Granítíhlutir, svo sem granítborð og granítblokkir, eru mikið notaðir við stöðugleika þeirra, flatneskju og litla hitauppstreymistuðul.

Ein aðal notkun granítíhluta í hálfleiðara framleiðslu er í framleiðsluferlinu. Silicon Wafers, grunn byggingareiningar samþættra hringrásar, þarf að búa til með mikilli nákvæmni og nákvæmni. Sérhver röskun eða hreyfing meðan á ferlinu stendur getur leitt til galla sem geta haft áhrif á gæði og virkni samþættra hringrásar. Granítborð, með mikilli stöðugleika og flatnesku, bjóða upp á góðan vettvang fyrir vinnslubúnaðinn. Þeir eru einnig ónæmir fyrir hitauppstreymi og samdrætti af völdum upphitunar og kælingar sem krafist er í ferlinu.

Granítblokkir eru einnig notaðir við hálfleiðara vinnslu fyrir hitauppstreymi þeirra. Við ætingu eða útfellingarferli eru heitar lofttegundir eða plasmas notaðar til að breyta yfirborði kísilþaksins. Það þarf að stjórna hitastigi skífunnar til að tryggja að ferlið sé framkvæmt á skilvirkan og nákvæmlega. Granítblokkir, með lágum hitauppstreymistuðulinum, hjálpa til við að koma á stöðugleika í hitastigi skífunnar og draga úr hættu á hitasveiflum sem gætu haft áhrif á gæði unna efnisins.

Burtséð frá framleiðslu og vinnsluferlum eru granítíhlutir einnig notaðir í mælikvarða og skoðunarstigum hálfleiðara framleiðslu. Mælingarmælingar eru gerðar til að tryggja að stærð, lögun og staða mannvirkjanna á skífunni séu innan nauðsynlegra forskrifta. Granítblokkir eru notaðir sem viðmiðunarstaðlar í þessum mælingum vegna víddar stöðugleika þeirra og nákvæmni. Þau eru einnig notuð í skoðunarstigum, þar sem gæði samþættra hringrásanna eru athuguð undir mikilli stækkun.

Á heildina litið hefur notkun granítíhluta í hálfleiðara framleiðslu aukist á undanförnum árum. Þörfin fyrir mikla nákvæmni, nákvæmni og stöðugleika í framleiðslu og vinnslu samþættra hringrásar hefur knúið áfram að nota þessi efni af framleiðendum hálfleiðara. Einstakir eiginleikar granít, svo sem hörku, stöðugleiki og lítill hitauppstreymisstuðull, gera það að frábæru vali til notkunar í þessum ferlum. Með áframhaldandi þróun og endurbótum á hálfleiðara tækni er búist við að notkun granítíhluta muni aukast frekar í framtíðinni.