Hvernig á að nota granítíhluti fyrir hálfleiðara framleiðsluferli?

Granít er hart og endingargott efni sem er oft notað í byggingariðnaði.Hins vegar hefur það einnig eiginleika sem gera það gagnlegt í hálfleiðaraframleiðslu, sérstaklega við framleiðslu og vinnslu samþættra hringrása.Granítíhlutir, eins og granítborð og granítblokkir, eru mikið notaðir vegna stöðugleika, flatleika og lágs varmaþenslustuðuls.

Ein helsta notkun graníthluta í hálfleiðaraframleiðslu er í framleiðsluferlinu.Kísilplötur, grunnbyggingareiningar samþættra rafrása, þarf að búa til með mikilli nákvæmni og nákvæmni.Sérhver röskun eða hreyfing meðan á ferlinu stendur getur leitt til galla sem geta haft áhrif á gæði og virkni samþættu rafrásanna.Granítborð, með miklum stöðugleika og flatleika, veita góðan vettvang fyrir oblátavinnslubúnaðinn.Þau eru einnig ónæm fyrir varmaþenslu og samdrætti af völdum hitunar og kælingar sem þarf í ferlinu.

Granítblokkir eru einnig notaðir í hálfleiðaravinnslu vegna varmastöðugleika þeirra.Við ætingu eða útfellingu eru heitar lofttegundir eða plasma notuð til að breyta yfirborði kísilskífunnar.Það þarf að stjórna hitastigi skúffunnar til að tryggja að ferlið sé framkvæmt á skilvirkan og nákvæman hátt.Granítblokkir, með lágum varmaþenslustuðli sínum, hjálpa til við að koma á stöðugleika hitastigs skúffunnar, sem dregur úr hættu á hitasveiflum sem gætu haft áhrif á gæði unnar efnis.

Fyrir utan framleiðslu- og vinnsluferlana eru granítíhlutir einnig notaðir í mælifræði- og skoðunarstigum hálfleiðaraframleiðslu.Mælingar eru gerðar til að tryggja að stærð, lögun og staðsetning mannvirkja á disknum sé innan tilskilinna forskrifta.Granítblokkir eru notaðir sem viðmiðunarstaðlar í þessum mælingum vegna víddarstöðugleika og nákvæmni.Þeir eru einnig notaðir í skoðunarstigum, þar sem gæði samþættu rafrásanna eru skoðuð við mikla stækkun.

Á heildina litið hefur notkun graníthluta í hálfleiðaraframleiðslu aukist á undanförnum árum.Þörfin fyrir mikla nákvæmni, nákvæmni og stöðugleika í framleiðslu og vinnslu samþættra rafrása hefur knúið upp þessa efnistöku hjá hálfleiðaraframleiðendum.Einstakir eiginleikar graníts, eins og hörku þess, stöðugleiki og lágur varmaþenslustuðull, gera það að frábæru vali til notkunar í þessum ferlum.Með áframhaldandi þróun og endurbótum á hálfleiðaratækni er gert ráð fyrir að notkun graníthluta vaxi enn frekar í framtíðinni.