Á sviðum eins og framleiðslu hálfleiðara og nákvæmra mælitækja hefur nákvæmni granítpalla bein áhrif á rekstrargæði búnaðarins. Til að tryggja að nákvæmni pallsins uppfylli staðla ætti að vinna úr tveimur þáttum: að greina lykilvísa og að fylgja stöðluðum viðmiðum.
Kjarnavísirgreining: Fjölvíddarstýring á nákvæmni
Flatneskjugreining: Ákvörðun á „flatneskju“ viðmiðunarflatarins
Flatleiki er kjarninn í nákvæmnispallum úr graníti og er venjulega mæld með leysigeisla eða rafeindavatni. Leysigeislamælirinn getur mælt nákvæmlega örsmáar öldur á yfirborði pallsins með því að senda frá sér leysigeisla og nota meginregluna um ljóstruflanir, með nákvæmni sem nær allt niður í míkron. Rafeindavatnið mælir með því að hreyfa það nokkrum sinnum og teiknar þrívíddarútlínukort af yfirborði pallsins til að greina hvort einhverjar staðbundnar útskot eða lægðir séu til staðar. Til dæmis þurfa granítpallar sem notaðir eru í hálfleiðaraljósmyndunarvélum að hafa flatleika upp á ±0,5 μm/m, sem þýðir að hæðarmunurinn innan eins metra lengdar ætti ekki að vera meiri en hálfur míkrómetri. Aðeins með nákvæmum greiningarbúnaði er hægt að tryggja þennan stranga staðal.
2. Beinlínugreining: Tryggið „beinlínu“ línulegrar hreyfingar
Fyrir palla sem bera nákvæma hreyfanlega hluti er beinnleiki afar mikilvægur. Algengar aðferðir til greiningar eru víraaðferðin eða leysigeislamælirinn. Víraaðferðin felur í sér að hengja upp nákvæma stálvíra og bera saman bilið á milli yfirborðs pallsins og stálvíranna til að ákvarða beinnleikann. Leysigeislamælirinn notar línulega útbreiðslueiginleika leysisins til að greina línulega villu á uppsetningaryfirborði leiðarsteina pallsins. Ef beinnleikinn uppfyllir ekki staðalinn mun það valda því að búnaðurinn færist til við hreyfingu, sem hefur áhrif á nákvæmni vinnslu eða mælinga.
3. Greining á yfirborðsgrófleika: Gakktu úr skugga um „fínleika“ snertingar
Yfirborðsgrófleiki pallsins hefur áhrif á hvernig íhlutir passa. Almennt er notaður stíll-grófleikamælir eða ljósasmásjá til að greina það. Stíll-líkt tæki skráir hæðarbreytingar á smásjársniði með því að snerta yfirborð pallsins með fínum mæli. Ljósasmásjár geta fylgst beint með yfirborðsáferðinni. Í nákvæmum forritum þarf að stjórna yfirborðsgrófleika granítpalla við Ra≤0,05μm, sem jafngildir spegilmynd, sem tryggir að nákvæmir íhlutir passi þétt við uppsetningu og kemur í veg fyrir titring eða tilfærslu af völdum bila.
Nákvæmnistaðlarnir fylgja: alþjóðlegum stöðlum og innra eftirliti fyrirtækisins
Eins og er, á alþjóðavettvangi eru staðlarnir ISO 25178 og GB/T 24632 almennt notaðir sem grundvöllur fyrir því að ákvarða nákvæmni granítpalla, og það eru skýrar flokkanir fyrir vísbendingar eins og flatneskju og beina. Að auki setja háþróuð framleiðslufyrirtæki oft strangari innri eftirlitsstaðla. Til dæmis er flatneskjukrafa fyrir granítpall ljósritunarvélarinnar 30% hærri en alþjóðlegur staðall. Við prófanir ætti að bera saman mæld gögn við samsvarandi staðla. Aðeins pallar sem uppfylla staðlana að fullu geta tryggt stöðuga afköst í nákvæmnisbúnaði.
Nákvæmni nákvæmni granítpalla er kerfisbundið verkefni. Aðeins með því að prófa strangar grunnþætti eins og flatneskju, beinu horni og yfirborðsgrófleika, og fylgja alþjóðlegum og fyrirtækjastöðlum, er hægt að tryggja mikla nákvæmni og áreiðanleika pallsins og leggja traustan grunn að háþróaðri framleiðslu á sviðum eins og hálfleiðurum og nákvæmnitækjum.
Birtingartími: 21. maí 2025