IÍ hálfleiðaraiðnaðinum er nákvæmni búnaðar til að skoða skífur afar mikilvæg til að tryggja gæði samþættra hringrása. Nákvæmar granítvélar, eins og þær sem ZHHIMG® býður upp á, gegna lykilhlutverki í að auka afköst slíks búnaðar. Svona skipta þær máli.
Framúrskarandi víddarstöðugleiki Granít státar af afar lágum hitaþenslustuðli, um (4–8) × 10⁻⁶/℃, sem er töluvert lægra en margir málmar. Í strangt stýrðu umhverfi hálfleiðaraverksmiðja, þar sem jafnvel minniháttar hitasveiflur geta valdið mælingavillum, haldast undirstöður granítvélanna stöðugar. Þessi stöðugleiki tryggir að staðsetning íhluta í skoðunarbúnaði fyrir skífur haldist nákvæm og kemur í veg fyrir frávik vegna hita sem gætu haft áhrif á nákvæmni skoðunarniðurstaðna.
Framúrskarandi titringsdempun Framleiðslugólf eru oft fyllt með titringi frá ýmsum uppsprettum. Meðfæddir dempunareiginleikar graníts, með dempunarhlutfalli upp á 0,05–0,1, draga í sig og dreifa þessum titringi á áhrifaríkan hátt. Fyrir skoðun á skífum
Í vinnslu, sem krefst myndgreiningar í hárri upplausn og nákvæmra skynjaramælinga, er minnkun titrings sem granítgrunnar veita ómetanleg. Það lágmarkar truflanir sem gætu óskýrt myndir eða skekkt skynjaragögn, sem gerir búnaðinum kleift að fanga skýrar og nákvæmar upplýsingar um yfirborð og innri uppbyggingu skífunnar.
Mikil stífleiki og slitþolMeð eðlisþyngd upp á um það bil 3100 kg/m³ bjóða granítvélarundirstöðvar ZHHIMG® upp á einstakan stífleika. Þær geta borið þunga íhluti skoðunarbúnaðar fyrir skífur án þess að afmyndast og viðhalda þannig samræmingu sjón- og vélrænna kerfa. Að auki tryggir mikil hörku granítsins (Mohs kvarði 6–7) og framúrskarandi slitþol að yfirborð vélarinnar haldist flatt og slétt með tímanum. Þessi samræmi er nauðsynleg fyrir langtíma nákvæmni, þar sem slit eða aflögun á undirstöðunni gæti smám saman dregið úr nákvæmni búnaðarins.
Efnafræðileg óvirkniFramleiðsla hálfleiðara felur í sér útsetningu fyrir ýmsum efnum. Efnafræðileg óvirkni graníts gerir það ónæmt fyrir tæringu frá þessum efnum. Þessi eiginleiki verndar heilleika vélarinnar og kemur í veg fyrir efnatengda skemmdir sem gætu haft áhrif á stöðugleika og nákvæmni skoðunarbúnaðarins.
Að lokum eru nákvæmar granítvélar undirstöður ekki bara íhlutur heldur lykilþáttur í að ná ströngum nákvæmniskröfum fyrir skoðunarbúnað fyrir skífur. Þegar þú velur granítvélar undirstöður skaltu velja trausta birgja eins og ZHHIMG®. Með fjölmörgum vottunum og skuldbindingu við gæði tryggir ZHHIMG® að hver granítvél undirstaða skili þeirri áreiðanleika og afköstum sem þarf til háþróaðrar hálfleiðaraframleiðslu.
Birtingartími: 3. júní 2025