Í framleiðslu hálfleiðara er nákvæmni á undirmíkronum lykillinn að því að tryggja afköst örgjörvans og (ZHHIMG®) granítgrunnurinn, með efniseiginleikum sínum, nákvæmri vinnslu og nýstárlegri hönnun, hefur orðið kjarninn í því að ná þessari nákvæmni.
Frá sjónarhóli efniseiginleika hefur svarta granítið sem ZHHIMG® valdi eðlisþyngd upp á um það bil 3100 kg/m³, með þéttri innri uppbyggingu. Þessi mikli eðlisþyngd veitir því framúrskarandi stöðugleika og stífleika. Við notkun hálfleiðarabúnaðar myndast titringur vegna snúnings mótora og hreyfingar vélrænna íhluta inni í búnaðinum. Granítgrunnurinn getur á áhrifaríkan hátt tekið í sig yfir 90% af titringsorkunni, sem dregur verulega úr áhrifum titrings á nákvæmni búnaðarins. Á sama tíma gerir afar lágur varmaþenslustuðullinn því kleift að halda aflögun sinni innan mjög lítilla marka þegar umhverfishitastig sveiflast, sem veitir stöðugan stuðningsgrunn fyrir hálfleiðarabúnað og kemur í veg fyrir tilfærslu íhluta búnaðarins vegna hitabreytinga, sem gætu haft áhrif á nákvæmni.
Hvað varðar vinnslu og framleiðslu notar ZHHIMG® verksmiðjan alþjóðlega háþróaða vinnslubúnað og fjórar risastórar kvörnvélar (hver vél kostar yfir 500.000 Bandaríkjadali) sem geta framkvæmt nákvæma kvörnun á graníti. Með fimmása tengingu CNC vinnslu og öðrum ferlum getur flatnin á vélinni náð nanómetrastigi, sem veitir afar flatt viðmiðunarflöt fyrir uppsetningu hálfleiðarabúnaðar og tryggir nákvæma staðsetningu hvers íhlutar búnaðarins. Ennfremur veitir verkstæðið með stöðugu hitastigi og rakastigi (sem nær yfir 10.000 fermetra svæði) stöðugt umhverfi fyrir vinnsluna. 500 mm breiðar og 2000 mm djúpar titringsvörn í kringum hana, sem og hljóðlátir kranar, einangra á áhrifaríkan hátt utanaðkomandi titringstruflanir og tryggja nákvæmni vinnslu vélarinnar.
Að auki býður ZHHIMG® upp á mikla sérstillingarmöguleika. Fyrir sérstakar kröfur hálfleiðarabúnaðar er hægt að forsmíða nákvæm uppsetningargöt og kapalbakka til að ná fullkominni samhæfni milli búnaðarins og undirstöðunnar. Á sama tíma, í samvinnu við fyrsta flokks mæli- og prófunarbúnað eins og þýska Mahr mínútumælinum (með nákvæmni upp á 0,5 µm) og svissneska WYLER rafeindavog, er vélin stranglega skoðuð og kvarðuð til að tryggja að hver vél uppfylli strangar kröfur hálfleiðarabúnaðar um nákvæmni á undirmíkronstigi.
Það er einmitt samsetning þessara kosta sem gerir ZHHIMG® granítgrunninn að áreiðanlegum valkosti til að ná nákvæmni undir míkron í hálfleiðarabúnaði, sem hjálpar hálfleiðaraframleiðslu að færast í átt að sviðum með meiri nákvæmni.
Birtingartími: 18. júní 2025