Í nákvæmum heimi hálfleiðaraframleiðslu eru óeyðileggjandi prófanir á skífum lykilatriði til að tryggja gæði örgjörvans. Ómerkilegur granítgrunnur er í raun „óþekktur hetja“ sem ákvarðar nákvæmni greiningarinnar. Hvernig í ósköpunum hefur það áhrif á niðurstöður prófunarinnar? Þessi grein mun framkvæma ítarlega greiningu út frá víddum eins og efniseiginleikum og burðarvirki.
1. Stöðugur grunnur: Náttúrulegir kostir graníts leggja traustan grunn að nákvæmni
1. Framúrskarandi jarðskjálftaárangur
Við notkun á búnaði til að prófa skífur án eyðileggingar myndast titringur vegna snúnings mótorsins og hreyfingar vélrænna íhluta. Ef þessum titringi er ekki haldið niðri á áhrifaríkan hátt mun það hafa alvarleg áhrif á nákvæmni prófunarinnar. Innra byrði granítsins er nátengt steinefnakristöllum eins og kvarsi og feldspat. Einstök uppbygging þess veitir því náttúrulega titringsgleypni sem getur tekið í sig yfir 90% af titringsorku búnaðarins. Raunveruleg mælingagögn frá ákveðnum hálfleiðaraframleiðanda sýna að eftir notkun granítgrunns hefur titringsvídd greiningarbúnaðarins minnkað úr 12 μm í 2 μm, sem kemur í veg fyrir frávik greiningarmerkisins vegna titrings.
2. Mjög lágur varmaþenslustuðull
Í greiningarferlinu hafa þættir eins og hiti búnaðar og breytingar á umhverfishita áhrif á stöðugleika vélarinnar. Venjuleg efni þenjast verulega út við upphitun, en varmaþenslustuðull graníts er aðeins 1/5 af stuðli stáls. Jafnvel þótt umhverfishitastig sveiflist um 10°C er hægt að hunsa aflögun þess. Þetta gerir granítgrunninum kleift að veita stöðugan viðmiðunargrunn fyrir skoðunarbúnaðinn, sem tryggir að hlutfallsleg staðsetning milli skoðunarnemans og skífunnar sé alltaf nákvæm og kemur í veg fyrir skoðunarvillur af völdum varmaþenslu.
Í öðru lagi, nákvæm hönnun: Uppbyggingarhagkvæmni eykur enn frekar áreiðanleika greiningarinnar.
Hágæða vinnsla og flatnæmisábyrgð
Hágæða granítgrunnurinn er unninn með háþróaðri fimmása CNC-tengingartækni, með flatneskju upp á ±0,5 μm/m, sem veitir afar flata uppsetningarviðmiðun fyrir skoðunarbúnað. Í skoðun á skífum eru lóðrétt og lárétt skoðunarneminn lykilatriði fyrir skoðunarniðurstöður. Nákvæmur granítgrunnur getur tryggt nákvæma staðsetningu neminnsins, sem gerir skoðunargögnin nákvæmari og áreiðanlegri.
2. Sérsniðin aðlögun að burðarvirki
Hægt er að aðlaga undirstöður granítvéla fyrir mismunandi búnað til að prófa skífur án eyðileggingar og kröfur um ferli. Til dæmis, til að uppfylla kröfur sjónskoðunarbúnaðar varðandi ljósendurspeglun, er hægt að meðhöndla yfirborð undirstöðu vélarinnar sérstaklega; til að uppfylla uppsetningarkröfur ómskoðunarbúnaðar er hægt að forsmíða undirstöðuna með nákvæmum uppsetningargötum og kapalbakkum, sem gerir kleift að setja upp búnaðinn hraða og nákvæma og dregur úr frávikum við greiningu vegna uppsetningarvillna.
III. Langtímastöðugleiki: Minnkaðu nákvæmnistap vegna viðhalds búnaðar
Granít hefur mikla hörku og sterka slitþol, með Mohs hörku upp á 6 til 7, sem er þrefalt slitþol venjulegs stáls. Við langtíma skoðun er yfirborð vélarinnar ekki viðkvæmt fyrir sliti og getur alltaf viðhaldið góðri nákvæmni. Aftur á móti geta grunnar úr öðrum efnum valdið breytingum á uppsetningarviðmiðun búnaðarins vegna slits, sem hefur áhrif á nákvæmni greiningarinnar og krefst tíðrar kvörðunar og viðhalds. Langur endingartími og mikill stöðugleiki granítgrunnsins dregur verulega úr tíðni viðhalds búnaðar og minnkar hættuna á nákvæmnistapi sem getur komið upp við viðhaldsferlið.
Frá höggþoli og hitaþoli til nákvæmrar hönnunar tryggir hver einasti eiginleiki granítgrunnsins nákvæmni óskemmtilegra prófana á skífum. Í nútímanum, þar sem hámarks nákvæmni er í framleiðslu hálfleiðara, er val á hágæða granítgrunni eins og að bæta við traustu lagi af tryggingum fyrir nákvæmni og áreiðanleika prófunarniðurstaðna.
Birtingartími: 18. júní 2025