Í hálfleiðaraframleiðslu eru kröfur um umhverfisaðstæður og nákvæmni búnaðar í framleiðsluferli örgjörva mjög miklar og hver smávægileg frávik geta leitt til verulegrar lækkunar á framleiðslugetu örgjörvans. Nákvæmni gangpallur XYZT byggir á granítíhlutum til að vinna með öðrum hlutum pallsins til að byggja upp traustan grunn að nákvæmni á nanóskala.
Frábærir titringsvörnandi eiginleikar
Í hálfleiðaraframleiðsluverkstæði getur notkun jaðarbúnaðar og starfsfólks sem gengur um valdið titringi. Innri uppbygging graníthluta er þétt og einsleit, með náttúrulegum háum dempunareiginleikum, eins og skilvirk titrings"hindrun". Þegar ytri titringur er sendur til XYZT pallsins getur graníthlutinn dregið úr meira en 80% af titringsorkunni á áhrifaríkan hátt og dregið úr truflunum titrings á nákvæmni hreyfingar pallsins. Á sama tíma er pallurinn búinn nákvæmu loftfljótandi leiðarkerfi, sem vinnur í samvinnu við graníthlutana. Loftfljótandi leiðarkerfið notar stöðuga gasfilmu sem myndast af háþrýstigasi til að framkvæma snertilausa fjöðrunarhreyfingu hreyfanlegra hluta pallsins og draga úr litlum titringi sem stafar af vélrænum núningi. Saman tryggja þessir tveir að nákvæmni staðsetningar pallsins sé alltaf viðhaldið á nanómetrastigi í lykilferlum eins og flísarlitografíu og etsun, og forðast frávik í flísarrásarmynstrum af völdum titrings.
Frábær hitastöðugleiki
Sveiflur í hitastigi og raka í verkstæðinu hafa mikil áhrif á nákvæmni flísframleiðslutækja. Varmaþenslustuðull graníts er mjög lágur, almennt 5-7 × 10⁻⁶/℃, og stærðin breytist nánast ekki þegar hitastigið breytist. Jafnvel þótt hitastigsmunur á milli dags og nætur í verkstæðinu eða varmaframleiðsla búnaðarins valdi sveiflum í umhverfishita, geta granítþættirnir haldist stöðugir til að koma í veg fyrir aflögun pallsins vegna varmaþenslu og samdráttar. Á sama tíma fylgist snjallt hitastýringarkerfi sem er útbúið með pallinum með umhverfishita í rauntíma, stillir sjálfkrafa loftræstingu og varmaleiðnibúnað og heldur hitastigi verkstæðisins við 20°C ±1°C. Í samvinnu við kosti hitastöðugleika granítsins er tryggt að pallurinn uppfylli alltaf kröfur um nákvæmni flísframleiðslunnar í nanómetrastærð til að tryggja að stærð litografíumynsturs flísarinnar sé nákvæm og etsdýptin sé einsleit.
Mæta þörfum hreins umhverfis
Framleiðsluverkstæði hálfleiðara þarf að viðhalda mikilli hreinlæti til að koma í veg fyrir að rykagnir mengi flísina. Granítefnið sjálft myndar ekki ryk og yfirborðið er slétt og dregur ekki auðveldlega í sig ryk. Pallurinn í heild sinni notar fullkomlega lokaða eða hálflokaða uppbyggingu til að draga úr innkomu utanaðkomandi ryks. Innra loftræstikerfið er tengt við hreint loftræstikerfi verkstæðisins til að tryggja að hreinleiki innra loftsins nái þeim kröfum sem krafist er fyrir flísframleiðslu. Í þessu hreina umhverfi munu granítíhlutir ekki hafa áhrif á afköst vegna rykeyðingar og lykilíhlutir eins og nákvæmir skynjarar og mótorar pallsins geta einnig starfað stöðugt, sem veitir samfellda og áreiðanlega nanókvarða nákvæmni fyrir flísframleiðslu og hjálpar hálfleiðaraiðnaðinum að færa sig á hærra ferlisstig.
Birtingartími: 14. apríl 2025