Í framleiðslu hálfleiðara er ljósritunarvélin lykiltæki sem ákvarðar nákvæmni flísanna og granítgrunnurinn, með sínum fjölmörgu eiginleikum, hefur orðið ómissandi hluti ljósritunarvélarinnar.
Hitastöðugleiki: „Skjöldur“ gegn hitabreytingum
Þegar ljósritunarvél er í notkun myndar hún mikinn hita. Jafnvel hitasveiflur upp á aðeins 0,1 ℃ geta valdið aflögun íhluta búnaðarins og haft áhrif á nákvæmni ljósritunarinnar. Varmaþenslustuðull graníts er afar lágur, aðeins 4-8 × 10⁻⁶/℃, sem er um það bil 1/3 af varmaþenslustuðli stáls og 1/5 af varmaþenslustuðli áls. Þetta gerir granítgrunninum kleift að viðhalda víddarstöðugleika þegar ljósritunarvélin er í gangi í langan tíma eða þegar umhverfishitastig breytist, sem tryggir nákvæma staðsetningu ljósfræðilegra íhluta og vélrænna mannvirkja.
Frábær titringsdeyfandi afköst: „Svampurinn“ sem gleypir titring
Í hálfleiðaraverksmiðju getur rekstur búnaðar í kring og hreyfing fólks valdið titringi. Granít hefur mikla eðlisþyngd og harða áferð og hefur framúrskarandi dempunareiginleika, með dempunarhlutfall sem er 2 til 5 sinnum hærra en hjá málmum. Þegar ytri titringur berst til granítgrunnsins breytir núningurinn milli innri steinefnakristallanna titringsorkunni í varmaorku til dreifingar, sem getur dregið verulega úr titringnum á stuttum tíma, sem gerir ljósmyndavélinni kleift að endurheimta stöðugleika fljótt og forðast óskýrleika eða rangstöðu ljósmyndamynstursins vegna titrings.
Efnafræðilegur stöðugleiki: „Verndari“ hreins umhverfis
Innra byrði ljósritunarvélar kemst í snertingu við ýmis efnafræðileg efni og venjuleg málmefni eru viðkvæm fyrir tæringu eða losun agna. Granít er samsett úr steinefnum eins og kvarsi og feldspat. Það hefur stöðuga efnafræðilega eiginleika og sterka tæringarþol. Eftir að hafa verið lagt í bleyti í sýru- og basalausnum er yfirborðstæringin afar lítil. Á sama tíma myndar þétt uppbygging þess nánast engin rusl eða ryk, sem uppfyllir kröfur ströngustu staðla fyrir hreinrými og dregur úr hættu á mengun skífna.
Aðlögunarhæfni vinnslu: „Hið fullkomna efni“ til að búa til nákvæm viðmið
Kjarnaþættir ljósritunarvélarinnar þurfa að vera settir upp á nákvæmu viðmiðunaryfirborði. Innri uppbygging granítsins er einsleit og auðvelt er að vinna það með mikilli nákvæmni með slípun, fægingu og öðrum aðferðum. Flatleiki þess getur náð ≤0,5 μm/m og yfirborðsgrófleiki Ra er ≤0,05 μm, sem veitir nákvæman uppsetningargrunn fyrir íhluti eins og ljósleiðara.
Langur endingartími og viðhaldsfrítt: „Beitt verkfæri“ til að lækka kostnað
Í samanburði við málmefni sem eru viðkvæm fyrir þreytu og sprungum við langtímanotkun, gengst granít varla undir plastaflögun eða brot við eðlilegt álag og þarfnast ekki yfirborðsmeðhöndlunar, sem kemur í veg fyrir hættu á að húðin flagnar og mengist. Í reynd, eftir mörg ár í notkun, geta lykilafköst granítgrunnsins samt haldist stöðug, sem dregur úr rekstrar- og viðhaldskostnaði búnaðarins.
Frá hitastöðugleika, titringsþoli til efnafræðilegrar óvirkni, uppfylla fjölmargir eiginleikar granítgrunnsins fullkomlega kröfur ljósritunarvélarinnar. Þar sem framleiðsluferlið á örgjörvum heldur áfram að þróast í átt að meiri nákvæmni, munu granítgrunnar halda áfram að gegna ómissandi hlutverki á sviði hálfleiðaraframleiðslu.
Birtingartími: 20. maí 2025