Á sviði háþróaðrar framleiðslu og nýjustu vísindarannsókna hefur afar nákvæm hreyfieining loftflotans orðið lykilbúnaður fyrir fína notkun og mælingar með framúrskarandi nákvæmni. Nákvæmnigrunnur granítsins, sem stuðningskjarni, hefur strangar kröfur um vinnuumhverfi og viðeigandi umhverfisaðstæður eru grundvöllur til að tryggja stöðuga frammistöðu og bestu áhrif.
Í fyrsta lagi, hitastýring: nákvæmur „stöðugleiki“
Þótt granít sé þekkt fyrir stöðugleika sinn er það ekki alveg ónæmt fyrir hitabreytingum. Þótt varmaþenslustuðullinn sé lágur, almennt 5-7 × 10⁻⁶/℃, geta smávægilegar hitasveiflur í mjög nákvæmum hreyfistýringaraðstæðum samt sem áður valdið víddarbreytingum og haft áhrif á nákvæmni einingarinnar. Í framleiðslu á hálfleiðaraflísum krefst steinolíuferlið staðsetningarnákvæmni á danami-stigi, og umhverfishitastig sveiflast um 1°C, og granítgrunnur með hliðarlengd upp á 1 metra getur valdið línulegri þenslu eða samdrætti upp á 5-7 míkron. Þessi litla breyting er send með mjög nákvæmri hreyfieiningu loftflotans, sem er nóg til að valda fráviki í steinolíumynstri flísarinnar og draga verulega úr afköstum. Þess vegna, þegar loftfljótandi, afar nákvæmni hreyfingareiningin er búin granítnákvæmnigrunni, ætti að stjórna kjörhitastigi vinnuumhverfisins við 20°C ±1°C. Með hjálp nákvæmnibúnaðar með stöðugu hitastigi, svo sem loftkælingarkerfa með stöðugu hitastigi og raka, ætti að fylgjast stöðugt með og stilla umhverfishitastigið til að tryggja að hitastigssveiflur séu innan mjög lítilla marka, viðhalda stöðugleika grunnstærðarinnar og tryggja nákvæma virkni einingarinnar.
Í öðru lagi, rakastjórnun: lykillinn að rakaþolinni verndun „steins“
Rakastig er annar mikilvægur þáttur sem hefur áhrif á afköst nákvæms granítgrunns. Í umhverfi með miklum raka á granít auðvelt með að taka í sig vatnsgufu, sem getur leitt til þéttingar á yfirborðinu, sem hefur ekki aðeins áhrif á stöðugleika granítsins og hreyfieiningar loftflotans, heldur getur það einnig valdið yfirborðseyðingu og dregið úr gljáa og nákvæmni til lengri tíma litið. Í verkstæði fyrir slípun ljósleiðara, ef rakastigið er hærra en 60% RH í langan tíma, mun vatnsgufan sem aðsogast á yfirborð granítgrunnsins trufla hreyfingu gasflotans, þannig að nákvæmni slípunarinnar minnkar og yfirborðið verður gallað. Þess vegna ætti að stjórna rakastigi vinnuumhverfisins stranglega á milli 40%-60% RH, sem hægt er að fylgjast með og stilla í rauntíma með því að setja upp rakatæki, rakaskynjara og annan búnað til að forðast skemmdir á granítgrunninum vegna mikils raka og tryggja greiða virkni hreyfieiningar loftflotans.
Í þriðja lagi, hreinlætisábyrgð: „verndari“ nákvæmni
Ekki er hægt að vanmeta skaðsemi rykagna á nákvæman granítgrunn loftflotsins. Þegar smáar agnir komast inn í gasfilmuna milli gasrennunnar og granítgrunnsins geta þær eyðilagt einsleitni gasfilmunnar, aukið núning og jafnvel rispað yfirborð grunnsins, sem leiðir til minnkaðrar nákvæmni hreyfingarinnar. Í nákvæmnisvinnsluverkstæði fyrir flughluta, ef rykagnir úr loftinu falla á granítgrunninn, getur hreyfibraut vinnslutólsins breyst, sem hefur áhrif á nákvæmni hlutanna. Þess vegna ætti að halda vinnusvæðinu mjög hreinu, ná 10.000 eða jafnvel hærri hreinlætisstöðlum, með því að setja upp lofthreinsibúnað, svo sem hágæða loftsíur (HEPA), sía rykagnir úr loftinu, og á sama tíma þurfa starfsmenn að klæðast ryklausum fötum, skóhlífum o.s.frv. til að draga úr ryki frá mönnum. Viðhalda nákvæmu rekstrarumhverfi granítgrunnsins og loftflotsins.
Fjórir, titringseinangrun: slétt notkun „höggdeyfisins“
Ytri titringur er óvinur nákvæmni hreyfieiningarinnar í loftflotanum. Þó að nákvæmni granítgrunnurinn hafi ákveðna titringsdeyfingargetu, getur mikill titringur samt sem áður brotið niður buffermörk sín. Titringurinn sem myndast við umferð í kringum verksmiðjuna og notkun stórra vélbúnaðar berst til granítgrunnsins í gegnum jörðina, sem mun trufla hreyfinákvæmni hreyfieiningarinnar í loftflotanum. Í hágæða CMM getur titringur valdið því að snerting milli mælisnúrans og vinnustykkisins sem á að mæla verður óstöðug, sem leiðir til frávika í mæligögnunum. Til að leysa þetta vandamál er nauðsynlegt að grípa til árangursríkra titringseinangrunarráðstafana, svo sem að leggja titringseinangrunarpúða á uppsetningarsvæði búnaðarins, byggja titringseinangrunargrunn eða nota virkt titringseinangrunarkerfi til að vega virkan upp á móti ytri titringi og skapa rólegt og stöðugt vinnuumhverfi fyrir granít nákvæmnigrunninn og hreyfieininguna í loftflotanum.
Aðeins með því að uppfylla að fullu umhverfiskröfur um hitastig, rakastig, hreinleika og titringsstýringu getur granítgrunnur afar-nákvæmrar hreyfieiningar loftflotans nýtt afköst sín til fulls, veitt áreiðanlega ábyrgð á afar-nákvæmri starfsemi á ýmsum sviðum og hjálpað iðnaðinum að stefna að hærra nákvæmnisframleiðslu- og vísindarannsóknarstigi.
Birtingartími: 8. apríl 2025