Á sviði nákvæmrar framleiðslu og vísindarannsókna er flatleiki nákvæmnispalla úr graníti lykilvísir til að tryggja nákvæmni búnaðar. Eftirfarandi er ítarleg kynning á nokkrum almennum greiningaraðferðum og verklagsreglum þeirra.
I. Aðferð til að greina leysigeislavirkni
Leysi-truflunarmælirinn er kjörinn tól fyrir nákvæma flatneskjugreiningu. Tökum ZYGO GPI XP leysi-truflunarmæliinn sem dæmi, upplausn hans getur náð 0,1 nm. Þegar greiningin er framkvæmd skal fyrst stilla ljósgjafa truflunarmælisins við pallinn og skipta yfirborði pallsins í 50 mm × 50 mm ristasvæði. Því næst voru truflunargögnin safnað punkt fyrir punkt og gögnin sett saman og greind með Zernike margliðu til að fá flatneskjuvilluna. Þessi aðferð á við um nákvæmar palla og getur greint flatneskjuvillur ≤0,5 μm/m². Hún er almennt notuð við greiningu á ljósritunarvélum og hágæða þriggja hnita mælipöllum.
Ii. Rafræn stigmælingaraðferð
Rafræna vatnsvogkerfið er einfalt í notkun og mjög skilvirkt. TESA A2 rafræna vatnsvogið (með upplausn upp á 0,01 μm/m) var valið og raðað í 9×9 röð meðfram X/Y ás stefnu pallsins. Með því að safna hallagögnum hvers stigs samstillt og síðan nota minnstu kvaðrata aðferðina til útreiknings er hægt að fá flatneskjugildið nákvæmlega. Þessi aðferð getur á áhrifaríkan hátt greint staðbundnar íhvolfs- og kúptsskilyrði pallsins. Til dæmis er einnig hægt að greina sveiflur upp á 0,2 μm innan 50 mm bils, sem hentar til hraðrar greiningar í fjöldaframleiðslu.
III. Aðferð við ljósfræðilega flata kristal
Aðferðin með ljósfræðilegum flatkristallum hentar vel til að greina palla með litlu svæði. Festið ljósfræðilega flatkristallinn þétt við yfirborðið sem á að prófa á pallinum og athugið truflunarbrúnirnar sem myndast á milli þeirra undir lýsingu frá einlita ljósgjafa (eins og natríumlampa). Ef rendurnar eru samsíða beinar rendur bendir það til góðrar flatneskju. Ef bogadregnar rendur birtast skal reikna flatneskjuvilluna út frá því hversu sveigðar röndin er. Hver bogadregin rönd táknar 0,316 μm hæðarmun og hægt er að fá flatneskjugögnin með einfaldri umreikningi.
Fjórir. Skoðunaraðferð þriggja hnita mælitækja
Þrívíddarmælitækið getur náð mjög nákvæmum mælingum í þrívíðu rúmi. Setjið granítpallinn á vinnuborð mælitækisins og notið mælitækið til að safna gögnum jafnt frá mörgum mælipunktum á yfirborði pallsins. Mælitækið vinnur úr og greinir þessi gögn til að búa til flatneskjuskýrslu pallsins. Þessi aðferð getur ekki aðeins greint flatneskju heldur einnig fengið aðrar rúmfræðilegar breytur pallsins samtímis og hentar fyrir alhliða greiningu á stórum granítpöllum.
Að ná tökum á þessum greiningaraðferðum getur hjálpað þér að meta nákvæmlega flatneskju granít-nákvæmnipallsins og veita áreiðanlega ábyrgð á stöðugum rekstri nákvæmnibúnaðar.
Birtingartími: 29. maí 2025