Nákvæmnisbyltingin í framleiðslu hálfleiðara: Þegar granít mætir míkrontækni
1.1 Óvæntar uppgötvanir í efnisfræði
Samkvæmt skýrslu SEMI International Semiconductor Association frá árinu 2023 hafa 63% af háþróaðri verksmiðjum heims byrjað að nota granítgrunna í stað hefðbundinna málmpalla. Þessi náttúrusteinn, sem á uppruna sinn í kvikuþéttingu djúpt í jörðinni, er að endurskrifa sögu hálfleiðaraframleiðslu vegna einstakra eðliseiginleika sinna:
Kostur við hitastýringu: hitastækkunarstuðull graníts 4,5 × 10⁻⁶/℃ er aðeins 1/5 af hitastækkunarstuðli ryðfríu stáli og víddarstöðugleiki upp á ± 0,001 mm er viðhaldið við samfellda vinnu litografíuvélarinnar.
Titringsdempunareiginleikar: innri núningstuðullinn er 15 sinnum hærri en í steypujárni, sem dregur á áhrifaríkan hátt úr örtitringi búnaðarins.
Núll segulmagnun: útrýma segulvillunni alveg í leysimælingum
1.2 Umbreytingarferðalagið frá námugrófi til verksmiðju
Sem dæmi má nefna að hrár granít þarf að gangast undir eftirfarandi:
Mjög nákvæm vinnsla: fimmása tengivél fyrir 200 klukkustundir af samfelldri fræsingu, yfirborðsgrófleiki allt að Ra0.008μm
Meðferð við gerviöldrun: 48 klukkustunda náttúruleg losun álags í vinnustofu með stöðugu hitastigi og rakastigi, sem bætir stöðugleika vörunnar um 40%
Í öðru lagi, leysa sex nákvæmnisvandamál í framleiðslu hálfleiðara, „berglausn“.
2.1 Áætlun til að draga úr sundrunarhraða skífa
Dæmisaga: Eftir að flíssteypa í Þýskalandi tekur upp gasfljótandi granítpall okkar:
| Þvermál skífunnar | lækkun flíshraða | úrbætur á flatleika |
| 12 tommur | 67% | ≤0,001 mm |
| 18 tommur | 82% | ≤0,0005 mm |
2.2 Nákvæmni litografískrar röðunar í gegnumbrotsáætlun
Hitajöfnunarkerfi: Innbyggður keramikskynjari fylgist með lögunarbreytunni í rauntíma og stillir sjálfkrafa halla pallsins
Mæld gögn: við sveiflur upp á 28 ℃ ± 5 ℃ sveiflast nákvæmni innfellingar minna en 0,12 μm
Birtingartími: 24. mars 2025