Granítpallurinn, sem er viðmiðunartæki fyrir nákvæmar mælingar og vinnslu, hefur nákvæmni viðhalds hans bein áhrif á framleiðslugæði. Eftirfarandi veitir kerfisbundna viðhaldsáætlun sem nær yfir umhverfisstjórnun, daglegt viðhald og faglega kvörðun til að tryggja að pallurinn haldi nákvæmni á nanómetrastigi í langan tíma.
1. Umhverfisstjórnun: Byggðu nákvæma verndargirðingu
Stjórnun hitastigs og rakastigs
Vinnuumhverfishitastigið þarf að vera stöðugt við 20 ± 1 ℃. Sérhver 1 ℃ sveifla veldur hitabreytingu á granítpallinum upp á 0,5-1 μm/m. Hægt er að setja upp stöðugt hitastigskerfi í verkstæðinu til að koma í veg fyrir að loftræstikerfið blási beint á pallinn.
Rakastigið ætti að vera stýrt á milli 40% og 60%. Of mikill raki getur auðveldlega valdið ryði á málmhlutum, en of lágur raki getur leitt til truflana af völdum stöðurafmagns í mælingum.
Titringseinangrun
Halda skal pallinum frá titringsgjöfum eins og stimplunar- og fræsivélum. Mælt er með að halda meira en 3 metra fjarlægð frá titringsbúnaði.
Ef ekki er hægt að forðast titring er hægt að setja upp loftfjöðrunardeyfa neðst á pallinum til að draga úr áhrifum umhverfis titrings á flatneskju pallsins (sem getur dregið úr ytri titringi um meira en 80%).
2. Daglegt viðhald: Nákvæmt eftirlit frá þrifum til verndar
Yfirborðshreinsunarforskrift
Rykhreinsun: Þurrkið yfirborðið með hirðskinnsklæði eða lólausum klút í sömu átt á hverjum degi til að koma í veg fyrir að rykagnir (≥5μm) rispi pallinn. Þrjósk bletti má þurrka varlega með vatnsfríu etanóli (hreinleiki ≥99,7%). Ekki má nota sterk leysiefni eins og aseton.
Fituhreinsun: Ef það kemst í snertingu við olíubletti skal þurrka það með þynntu, hlutlausu hreinsiefni, skola síðan með afjónuðu vatni og loftþurrkna til að koma í veg fyrir að steinefnaolía komist inn í örsmá svitaholur pallsins.
Vörn gegn álagi og árekstri
Burðargeta pallsins ætti að vera stjórnað innan 70% af nafnálagi (til dæmis, fyrir 1000 kg pall er mælt með að álagið sé ≤700 kg) til að forðast varanlega aflögun af völdum staðbundinnar ofhleðslu.
Það er stranglega bannað að slá vinnustykki á pallinum. Notið mjúka hanska þegar verkfæri eru meðhöndluð til að koma í veg fyrir að hvassir hlutir rispi yfirborðið (rispur sem eru dýpri en 20 μm munu hafa áhrif á mælingu á endurkastaðri ljósleið).
3. Fagleg kvörðun: Kjarninn í því að viðhalda nákvæmni á vísindalegan hátt
Stilling kvörðunarferlis
Hefðbundnar notkunaraðstæður: Kvörðið einu sinni á fjórðungs fresti og notið leysigeisla-truflunarmæli til að greina flatnæmi (með nákvæmni ±0,5 μm/m).
Notkun við mikla tíðni eða erfiðar aðstæður: Mánaðarleg kvörðun, með áherslu á að fylgjast með hitanæmum svæðum (eins og brún pallsins nálægt hitagjöfum).
Eftirkvörðunarvinnsla
Ef frávik í flatnætti finnast (eins og > ±1μm/m) verður fagmaður að slípa og gera við það með W1.5 ördufti. Sjálfslípun með sandpappír er stranglega bönnuð.
Eftir kvörðun ætti að skrá gögn og geyma þau og setja upp nákvæmnislækkunarferil fyrir pallinn til að spá fyrir um viðhaldsþarfir fyrirfram.
4. Geymsla og flutningur: Forðist falinn nákvæmnistap
Lykilatriði fyrir langtímageymslu
Við geymslu ætti að hylja það með raka- og rykþéttu loki. Botninn ætti að vera studdur af þremur punktum (stuðningspunkturinn er staðsettur á 2/9 af lengd pallsins) til að koma í veg fyrir beygju aflögun af völdum þyngdaraflsins (1 metra pallur getur sigið um 0,3 μm vegna langtíma stuðnings á einum punkti).
Færið stuðningspunkta pallsins reglulega (mánaðarlega) til að forðast langtímaþrýsting á staðnum.
Samgönguverndaráætlun
Flutningur yfir stuttar vegalengdir: Vefjið með höggdeyfandi froðu, festið innan stífs ramma og haldið hröðuninni innan 2 g.
Langferðaflutningar: Það þarf að vera lofttæmt pakkað og fyllt með þurru köfnunarefni. Eftir komu ætti að láta það standa í 24 klukkustundir þar til hitastigið nær jafnvægi áður en það er tekið úr umbúðum til að koma í veg fyrir að þéttivatn hafi áhrif á nákvæmnina.
5. Bilanaspá: Aðferðir til að bera kennsl á vandamál snemma
Sjónræn skoðun: Fylgist reglulega með yfirborðinu með 40x stækkunargleri. Ef stöðugar rispur eða veruleg minnkun á gljáa finnast getur það bent til minnkandi nákvæmni.
Hljóðgreining: Bankið varlega á pallinn. Ef hljóðið verður hás (venjulega ætti það að vera skýrt hljóð) gætu verið örsprungur inni í honum. Hættu notkun tafarlaust til greiningar.
Með þessu viðhaldskerfi getur ZHHIMG® granítpallurinn viðhaldið flatnæmi upp á ±1μm/m í 10 ár, sem er meira en þrisvar sinnum lengra en nákvæmni endingartíma palla sem ekki eru rétt viðhaldnir. Reynslan hefur sýnt að eftir að ákveðin hálfleiðaraverksmiðja tók upp þessa lausn minnkaði tíðni kvörðunar palla um 50% og árlegur viðhaldskostnaður sparaðist um meira en 150.000 júan.
Birtingartími: 18. júní 2025