Á sviði nákvæmrar iðnaðarframleiðslu og nýjustu vísindarannsókna hefur granítpallur, með framúrskarandi jarðskjálftaafköstum, orðið lykilbúnaður til að tryggja greiða þróun ýmissa nákvæmra aðgerða. Strangar höggdeyfingarstaðlar þess veita áreiðanlega ábyrgð fyrir margar vinnuaðstæður sem eru afar viðkvæmar fyrir titringi.
Í fyrsta lagi, ákvörðunargrundvöllur jarðskjálftaþolins granítpalls
Efniseiginleikar: Granítpallur er úr náttúrulegu graníti, eftir milljónir ára jarðfræðilegra ferla er innri kristalbyggingin þétt uppbyggð og mjög einsleit. Þessi einstaka uppbygging gefur granít mjög litla breytingu á teygjustuðli, og þegar það verður fyrir höggi, samanborið við önnur algeng efni eins og málm, er hægt að stjórna teygjuaflögun sinni á mjög litlu bili. Samkvæmt niðurstöðum viðurkenndra prófunarstofnana er teygjuaflögun graníts í stöðluðu titringsprófunarumhverfi aðeins 1/10-1/20 af því sem er í venjulegum málmefnum, sem leggur traustan grunn að hágæða jarðskjálftaafköstum pallsins.
Burðarvirki: Frá sjónarhóli stórbyggingar er granítpallurinn hannaður með bjartsýni á rúmfræðilega lögun og stuðningsuppsetningu. Heildarhlutfall lengdar-breiddar-hæðar pallsins er vandlega reiknað út til að tryggja stöðugan þyngdarpunkt og draga úr hættu á titringi. Á sama tíma er dreifing stuðningspunktanna vísindalega skipulögð samkvæmt meginreglum vélfræðinnar, sem getur jafnt dreift þyngd hlutanna sem settir eru á pallinn og höggkraftinum sem myndast af ytri titringi. Til dæmis, í stórum granítpalli er notaður fjölpunkta stuðningsbygging og fjarlægðarvillan milli aðliggjandi stuðningspunkta er stjórnað innan ±0,05 mm, sem forðast á áhrifaríkan hátt staðbundna spennuþéttni og bætir enn frekar jarðskjálftagetu pallsins.
2. Ítarlegar vísbendingar og notkunarsvið fyrir hvert höggdeyfisstig
Stig I höggdeyfandi staðall (við kröfur um mjög mikla nákvæmni)
Titringsfærsluvísitala: Innan sviðs hermdrar titringstíðni jarðskjálftabylgju (0,1Hz-100Hz) fer hámarksgildi titringsfærslunnar á hvaða stað sem er á yfirborði pallsins ekki yfir 0,001 mm. Þegar lágtíðni titringur sem myndast við notkun stórra véla í kring (eins og titringur þungra vélaverkfæra á tíðninni um 1Hz-10Hz) er truflaður, og nákvæmni sjónrænna mælitækja sem eru staðsett á pallinum, eins og atómkraftssmásjá, breytist hlutfallsleg breyting á tilfærslu milli mælisnúru og mældu sýnis hverfandi, sem tryggir að mælingarnákvæmni á nanóskala sé ekki fyrir áhrifum.
Notkunarsvið: Það er aðallega notað í litografíuferli hálfleiðaraflísframleiðslu. Flísframleiðsla krefst afar mikillar litografískrar nákvæmni og línubreiddin hefur náð nanómetrastigi. Í litografíuferlinu þarf granítpallurinn að veita stöðugan stuðning fyrir litografíuvélina, einangra titring sem myndast við notkun annarra búnaðar í verkstæðinu og tryggja nákvæma flutning litografíumynstursins, sem bætir þannig verulega afköst flísframleiðslunnar. Samkvæmt tölfræði iðnaðarins hefur notkun flísframleiðslulínu sem uppfyllir fyrsta stigs höggþolna staðla granítpalla aukið afköstin um 15%-20% samanborið við notkun venjulegra palla.
Stig 2 til að standast höggdeyfingu (nákvæmni)
Titringsfærsluvísitala: við titringstíðni á bilinu 0,1 Hz - 100 Hz er hámarks titringsfærslu yfirborðs pallsins stýrt innan 0,005 mm. Fyrir smásjáragnagreiningartilraunir sem gerðar eru í vísindarannsóknarstofum háskóla, svo sem tilraunir með skannandi göngsmásjá (STM), getur þetta höggþol tryggt að hlutfallsleg staða milli oddi STM og sýnisins sé stöðug, jafnvel þótt til staðar séu ákveðnar hefðbundnar titringsuppsprettur, svo sem starfsfólk sem hreyfist um rannsóknarstofuna og búnaður sem hreyfist um rannsóknarstofuna. Þannig eru upplýsingar um skammtafræðilegt ástand smásjáragna nákvæmlega skráðar, sem tryggir vísindamönnum nákvæmni í tilraunagögnum.
Notkunarsvið: Víða notað í framleiðslu á háþróuðum nákvæmnitækjum, svo sem kembiforritun á rafeindavogum með mikilli nákvæmni. Rafeindavogir eru afar viðkvæmar fyrir titringi og jafnvel smáir titringar geta valdið frávikum í mælingum. Granítpallurinn, sem uppfyllir annars stigs staðalinn fyrir höggdeyfingu, getur veitt stöðugt umhverfi fyrir kvörðun og gangsetningu rafeindavogarinnar, tryggt að mælingarnákvæmni hennar nái míkrógrömmum og uppfyllt kröfur iðnaðarins um mikla nákvæmni í þyngdarmælingum, svo sem í lyfja- og skartgripaauðkenningu.
Þriggja þrepa höggdeyfandi staðall (mjög nákvæmt)
Titringsfærsluvísitala: Á titringstíðnibilinu 0,1Hz-100Hz er hámarks titringsfærslu á yfirborði pallsins ekki meiri en 0,01 mm. Þegar venjulegur mælibúnaður, eins og hnitamælir, er notaður til að viðhalda titringi sem myndast við notkun meðalstórra búnaðar sem er algengur í verksmiðjum (titringstíðnin er almennt 10Hz-50Hz), getur venjulegur mælibúnaður, eins og hnitamælir, viðhaldið stöðugri mælingarnákvæmni og frávik mæligagnanna er stjórnað innan mjög lítils sviðs.
Notkunarsvið: Hentar fyrir nákvæmar mælingar í framleiðslu bílavarahluta. Nákvæmni vélarblokkar bílavéla, gírkassa og annarra hluta hefur bein áhrif á afköst og áreiðanleika bílsins. Við mælingar á þessum hlutum getur granítpallurinn, með þremur höggdeyfum, á áhrifaríkan hátt einangrað titring verkstæðisbúnaðarins og tryggt að hnitmælitækið mæli nákvæmlega stærð hlutanna, lögun og staðsetningarþol og aðra breytur, til að veita sterkan stuðning við gæðaeftirlit bílavarahluta og bæta framleiðslu á bílavarahlutum.
Þrjár, strangar gæðaprófanir til að tryggja að jarðskjálftastigið uppfylli staðalinn
Til að tryggja að hver granítpallur uppfylli samsvarandi jarðskjálftaþolsstaðla höfum við komið á fót ströngu og fullkomnu gæðaeftirlitskerfi. Í framleiðsluferlinu er framkvæmd ítarleg eðlisfræðileg eigindaprófun á hverju graníthráefni til að tryggja að innri uppbygging þess sé einsleit og án augljósra galla. Eftir að vinnslu pallsins er lokið er háþróaður titringshermunarbúnaður notaður til að herma eftir ýmsum flóknum titringsumhverfum til að prófa pallinn. Með nákvæmum leysigeislahreyfingarskynjara er rauntímaeftirlit með breytingum á hreyflum hvers punkts á yfirborði pallsins meðan á titringsferlinu stendur og gögnin eru send til faglegs gagnavinnslukerfis til greiningar. Aðeins þegar titringsvísar pallsins eru að fullu í samræmi við samsvarandi höggþolsstaðla er heimilt að setja þá á markað.
Í stuttu máli er granítpallur með vísindalegum höggdeyfingarstöðlum, framúrskarandi höggdeyfingarafköstum og ströngu gæðaeftirliti, sem veitir ómissandi stöðugan stuðning fyrir iðnaðarframleiðslu og vísindarannsóknir í mikilli nákvæmni, leit að fullkominni nákvæmni og áreiðanleika.
Birtingartími: 28. mars 2025